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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2019-7032112 (2019-10-30) | |
공개번호 | 10-2019-0133749 (2019-12-03) | |
등록번호 | 10-2527728-0000 (2023-04-26) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2017-071076 (2017-03-31) | |
국제출원번호 | PCT/JP2018/013603 (2018-03-30) | |
국제공개번호 | WO 2018/181896 (2018-10-04) | |
번역문제출일자 | 2019-10-30 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020197032112 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-01-25) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
산화물 반도체층 상에 형성된 티타늄층 또는 티타늄 함유층을 선택적으로 에칭 처리하기 위한 티타늄 또는 티타늄 합금 에칭액 조성물 및 상기 에칭액 조성물을 사용한 에칭 방법을 제공한다.본 발명의 에칭액 조성물은, 암모늄 이온을 포함하는 화합물, 과산화수소 및 염기성 화합물을 포함하며, pH가 7 내지 11인 산화물 반도체 상의 티타늄층 또는 티타늄 함유층을 에칭하기 위한 에칭액 조성물이다.
암모늄 이온을 포함하는 화합물, 과산화수소 및 염기성 화합물을 포함하는, pH가 7 내지 11이고, 상기 암모늄이온을 포함하는 화합물이 황산 암모늄, 인산 암모늄, 아세트산 암모늄, 질산 암모늄 및 숙신산 암모늄으로 이루어진 군에서 선택되는 1종 또는 2종 이상의 화합물인, 산화물 반도체 상의 티타늄층 또는 티타늄 함유층을 에칭하기 위한 에칭액 조성물.
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