최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2020-0014147 (2020-02-06) | |
공개번호 | 10-2021-0100324 (2021-08-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200014147 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
심사청구여부 | 있음 (2021-02-09) | |
심사진행상태 | 거절결정(일반) | |
법적상태 | 거절 |
본 발명은 판상으로 형성되는 정전 모재와, 정전 모재의 상면을 포함하는 영역에 코팅되며 표면과 내부에 존재하는 기공에 씰링제가 충진된 하부 유전체층과, 하부 유전체층의 상면에 패턴 형상으로 형성되는 정전 전극과, 하부 유전체층의 상면과 상기 정전 전극의 상면과 측면을 포함하는 영역에 코팅되며, 표면과 내부에 존재하는 기공에 상기 씰링제가 충진된 상부 유전체층 및 상부 유전체층의 상면에 코팅되는 상부 보호층을 포함하는 정전척 및 이의 제조 방법을 개시한다.
판상으로 형성되는 정전 모재와,상기 정전 모재의 상면을 포함하는 영역에 코팅되며, 표면과 내부에 존재하는 기공에 씰링제가 충진된 하부 유전체층과,상기 하부 유전체층의 상면에 패턴 형상으로 형성되는 정전 전극과,상기 하부 유전체층의 상면과 상기 정전 전극의 상면과 측면을 포함하는 영역에 코팅되며, 표면과 내부에 존재하는 기공에 상기 씰링제가 충진된 상부 유전체층 및상기 상부 유전체층의 상면에 코팅되는 상부 보호층을 포함하는 것을 특징으로 하는 정전척.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.