초록 ▼

본 발명은 플라즈마를 이용한 배관 막힘 감소장치에 관한 것으로, 본 발명은 제1배관, 제2배관, 히팅유닛 및 플라즈마발생유닛을 포함함으로써 히팅유닛을 통해 가열된 핫 질소가 플라즈마발생유닛을 거치면서 이온화되어 이온화된 핫 질소를 진공배관라인 내부로 공급하면서 진공펌프와 스크러버 사이를 연결하는 진공배관라인 내부로 이동하는 폐가스에 대하여 농도를 희석시켜 진공배관라인 내부에 파우더가 고착되는 현상을 줄일 수 있으며, 이를 통하여 진공배관라인의 막힘 현상을 극소화할 수 있도록 하는 한편, 진공배관라인의 막힘 현상을 극소화함으로써 진공

본 발명은 플라즈마를 이용한 배관 막힘 감소장치에 관한 것으로, 본 발명은 제1배관, 제2배관, 히팅유닛 및 플라즈마발생유닛을 포함함으로써 히팅유닛을 통해 가열된 핫 질소가 플라즈마발생유닛을 거치면서 이온화되어 이온화된 핫 질소를 진공배관라인 내부로 공급하면서 진공펌프와 스크러버 사이를 연결하는 진공배관라인 내부로 이동하는 폐가스에 대하여 농도를 희석시켜 진공배관라인 내부에 파우더가 고착되는 현상을 줄일 수 있으며, 이를 통하여 진공배관라인의 막힘 현상을 극소화할 수 있도록 하는 한편, 진공배관라인의 막힘 현상을 극소화함으로써 진공배관라인에 대한 유지보수기간을 증대시켜 진공배관라인의 유지보수비용을 현격히 절감시킬 수 있으며, 아울러 진공배관라인의 유지보수기간을 증대시킴으로써 반도체 제조에 대한 설비가동률을 상승시킴과 동시에 반도체 제조에 대한 생산성을 현격히 향상시킬 수 있는 것이다.

대표청구항 ▼

프로세스 챔버(10), 진공펌프(20), 스크러버(30)를 포함하는 반도체 제조설비에서의 프로세스 챔버(10)에서 발생한 폐가스를 정화시키기 위해, 진공펌프(20)의 진공펌프배출안내관(20a)과 연결되어 폐가스로 인한 스크러버(30) 측으로 유입되는 배관 내부의 파우더 고착을 방지하면서 배관에 대한 막힘 현상을 감소시키는 플라즈마를 이용한 배관 막힘 감소장치(100)에 있어서, 진공펌프(20)의 폐가스 배출라인인 진공펌프배출안내관(20a) 단부와 일단이 연통 연결되는 제1배관(110); 일단이 상기 제1배관(110)과 타단과 연통

프로세스 챔버(10), 진공펌프(20), 스크러버(30)를 포함하는 반도체 제조설비에서의 프로세스 챔버(10)에서 발생한 폐가스를 정화시키기 위해, 진공펌프(20)의 진공펌프배출안내관(20a)과 연결되어 폐가스로 인한 스크러버(30) 측으로 유입되는 배관 내부의 파우더 고착을 방지하면서 배관에 대한 막힘 현상을 감소시키는 플라즈마를 이용한 배관 막힘 감소장치(100)에 있어서, 진공펌프(20)의 폐가스 배출라인인 진공펌프배출안내관(20a) 단부와 일단이 연통 연결되는 제1배관(110); 일단이 상기 제1배관(110)과 타단과 연통 연결되며, 타단이 스크러버(30) 측으로 유입안내되는 스크러버유입안내관(30a)과 연통 연결되되, 제1배관(110)의 타단이 일정길이 삽입되면서 연통 연결되는 일단의 둘레부분에 외부로부터 내측의 스크러버유입안내관(30a) 측을 향하여 공간이 협소하게 증속유입안내공간(120a)이 형성되는 제2배관(120); 상기 제2배관(120)의 타단 측 외부에 배치되며, 외부로부터 유입되는 질소를 가열하여 가열된 핫 질소를 제2배관(120)의 증속유입안내공간(120a) 측으로 유입되도록 안내하는 히팅유닛(130); 및 하단이 증속유입안내공간(120a)과 연통연결되고, 상부 일 측이 히팅유닛(130)을 거쳐 가열된 핫 질소가 유입되도록 히팅유닛(130)과 연통연결되며, 히팅유닛(130)을 거쳐 가열된 핫 질소가 유입된 후 하향 안내되면서 고전압 방전에 의해 이온화되면서 이온화된 핫 질소가 증속유입안내공간(120a)을 통해 스크러버유입안내관(30a) 내부 둘레부분으로 유입되도록 하는 플라즈마발생유닛(150)을 포함하되, 히팅유닛(130) 측으로 유입되어 가열된 후 가열된 상태로 플라즈마발생유닛(150)를 거쳐 증속유입안내공간(120a) 측으로 안내되는 질소에 대한 유량 및 온도를 제어하는 컨트롤러(C)를 더 포함하는 한편, 상기 컨트롤러(C)는 제1배관(110)의 가스 유입 측 온도를 감지함과 동시에 히팅유닛(130)의 표면온도를 감지하면서, 감지된 제1배관(110)의 가스 유입온도 및 히팅유닛(130)의 핫 질소 온도에 대하여 일정온도 이상일 경우에 히팅유닛(130)과 플라즈마발생유닛(150)의 작동이 정지되도록 제어하는 것을 특징으로 하는 플라즈마를 이용한 배관 막힘 감소장치.