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| 국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 |
|---|---|
| 국제특허분류(IPC9판) |
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| 출원번호 | 10-2008-0076763 (2008-08-06) |
| 공개번호 | 10-2010-0018137 (2010-02-17) |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020080076763 |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2008-08-06) |
| 심사진행상태 | 거절결정(일반) |
| 법적상태 | 거절 |
본 발명은 반도체 소자를 제조하는 공정장비의 배기라인에 고착되는 파우더를 원활하게 제거할 수 있도록 한 반도체 공정장비 배기라인의 파우더 제거장치에 관한 것이다.이를 실현하기 위한 본 발명은 반도체 소자를 제조하는 공정장비의 배기라인 내벽에 고착되는 파우더를 제거하기 위한 반도체 공정장비 배기라인의 파우더 제거장치에 있어서, 상기 배기라인 내부의 파우더 고착구간에 회전가능하게 내삽되는 코일스프링; 상기 코일스프링에 연결되어 회전력을 전달하는 구동모터; 상기 코일스프링이 상기 배기라인 내벽에 고착된 파우더를 긁어 제거할 수 있도록 설
반도체 소자를 제조하는 공정장비의 배기라인 내벽에 고착되는 파우더를 제거하기 위한 반도체 공정장비 배기라인의 파우더 제거장치에 있어서,상기 배기라인 내부의 파우더 고착구간에 회전가능하게 내삽되는 코일스프링;상기 코일스프링에 연결되어 회전력을 전달하는 구동모터;상기 코일스프링이 상기 배기라인 내벽에 고착된 파우더를 긁어 제거할 수 있도록 설정된 시간 동안 주기적으로 작동될 수 있도록 상기 구동모터를 온/오프시키는 작동타이머;상기 구동모터 및 상기 작동타이머를 제어하는 제어부;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 공정장비 배기
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