초록 ▼

본 발명은 이송로봇 및 이를 포함하는 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 트랜스퍼모듈을 통해 기판을 이송하기 위한 이송로봇 및 이를 포함하는 기판처리시스템에 관한 것이다.본 발명은 기판이송을 위한 이송로봇(500)을 구비하는 트랜스퍼모듈(300)과; 상기 트랜스퍼모듈(300)의 일측에 설치되어 동시에 2장의 기판(10)이 출입되며 2장의 기판(10) 안착을 위한 한 쌍의 기판지지부(13)가 수평방향으로 배치되는 하나 이상의 듀얼프로세스모듈(100)과; 상기 트랜스퍼모듈(300)의 일측에 설치되어 1장의 기판(10)이 출

본 발명은 이송로봇 및 이를 포함하는 기판처리시스템에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 트랜스퍼모듈을 통해 기판을 이송하기 위한 이송로봇 및 이를 포함하는 기판처리시스템에 관한 것이다.본 발명은 기판이송을 위한 이송로봇(500)을 구비하는 트랜스퍼모듈(300)과; 상기 트랜스퍼모듈(300)의 일측에 설치되어 동시에 2장의 기판(10)이 출입되며 2장의 기판(10) 안착을 위한 한 쌍의 기판지지부(13)가 수평방향으로 배치되는 하나 이상의 듀얼프로세스모듈(100)과; 상기 트랜스퍼모듈(300)의 일측에 설치되어 1장의 기판(10)이 출입되며 기판(10) 안착을 위한 하나 이상의 기판지지부(13)가 구비되는 하나 이상의 싱글프로세스모듈(200)을 포함하며, 상기 이송로봇(500)은, 각각 기판(10)이 안착되는 안착면(11)을 구비하며 동일한 제1평면 상에 위치되는 제1기판안착부(510a) 및 제2기판안착부(510b)를 포함하며, 상기 제1기판안착부(510a) 및 상기 제2기판안착부(510b) 중 적어도 하나는, 기판이송 시 기판이송에 간섭되지 않는 영역에 위치되기 위하여 수직방향 회전축(C1)을 중심으로 회전가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템을 개시한다.

대표청구항 ▼

기판이송을 위한 이송로봇(500)을 구비하는 트랜스퍼모듈(300)과;상기 트랜스퍼모듈(300)의 일측에 설치되어 동시에 2장의 기판(10)이 출입되며 2장의 기판(10) 안착을 위한 한 쌍의 기판지지부(13)가 수평방향으로 배치되는 하나 이상의 듀얼프로세스모듈(100)과;상기 트랜스퍼모듈(300)의 일측에 설치되어 1장의 기판(10)이 출입되며 기판(10) 안착을 위한 하나 이상의 기판지지부(13)가 구비되는 하나 이상의 싱글프로세스모듈(200)을 포함하며,상기 이송로봇(500)은, 각각 기판(10)이 안착되는 안착면(11)을 구비

기판이송을 위한 이송로봇(500)을 구비하는 트랜스퍼모듈(300)과;상기 트랜스퍼모듈(300)의 일측에 설치되어 동시에 2장의 기판(10)이 출입되며 2장의 기판(10) 안착을 위한 한 쌍의 기판지지부(13)가 수평방향으로 배치되는 하나 이상의 듀얼프로세스모듈(100)과;상기 트랜스퍼모듈(300)의 일측에 설치되어 1장의 기판(10)이 출입되며 기판(10) 안착을 위한 하나 이상의 기판지지부(13)가 구비되는 하나 이상의 싱글프로세스모듈(200)을 포함하며,상기 이송로봇(500)은, 각각 기판(10)이 안착되는 안착면(11)을 구비하며 동일한 제1평면 상에 위치되는 제1기판안착부(510a) 및 제2기판안착부(510b)를 포함하며,상기 제1기판안착부(510a) 및 상기 제2기판안착부(510b) 중 적어도 하나는, 기판이송 시 기판이송에 간섭되지 않는 영역에 위치되기 위하여 수직방향 회전축(C1)을 중심으로 회전가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판처리시스템.