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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0045937 (2020-04-16) | |
공개번호 | 10-2020-0043341 (2020-04-27) | |
등록번호 | 10-2432439-0000 (2022-08-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200045937 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-09-16) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 기판 이송 모듈용 슬립 방지 척에 관한 것이고, 구체적으로 웨이퍼와 같은 기판을 게코(gecko) 구조의 흡착 척에 의하여 안정적으로 이송시킬 수 있는 기판 이송 모듈용 슬립 방지 척에 관한 것이다. 기판 이송 모듈용 슬립 방지 척은 척 몸체(11); 척 몸체(11)로부터 연장되는 한 쌍의 핑거(12a, 12b); 및 각각의 핑거(12a 12b)에 형성된 적어도 하나의 슬립 방지 패드(13a, 13b, 13c, 13d)를 포함하고, 상기 슬립 방지 패드(13a, 13b, 13c, 13d)는 기판의 한쪽 면에 접착 및 분리
척 몸체(11); 척 몸체(11)로부터 연장되는 한 쌍의 핑거(12a, 12b); 및 각각의 핑거(12a 12b)에 형성된 적어도 하나의 슬립 방지 패드(13a, 13b, 13c, 13d)를 포함하고, 상기 슬립 방지 패드(13a, 13b, 13c, 13d)는 기판의 한쪽 면에 접착 및 분리가 가능하도록 게코 구조를 가지는 나노 섬유를 포함하는 섬유 집합체를 포함하고, 각각의 섬유 집합체의 적어도 끝 부분은 발수성 또는 소수성을 가지고, 각각의 슬립 방지 패드(13a, 13b, 13c, 13d)는 섬유 집합체가 고정되는 전도 층(4
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