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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0068843 (2020-06-08) | |
공개번호 | 10-2020-0069276 (2020-06-16) | |
등록번호 | 10-2216921-0000 (2021-02-10) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200068843 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-06-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(재심사후) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 목적은 유연기판을 사용하는 롤투롤 시스템에 있어서, 물질의 사용량을 낮출 수 있고, 유연기판에 대한 박막 균일도를 향상시킬 수 있으면서, 공정 챔버의 물질에 의한 오염을 줄일 수 있는, 새로운 방식의 증착 시스템을 제공하고자 한다.상기 목적에 따라 본 발명은, 유연기판이 연신된 공정 챔버에 별도의 챔버(면 증발원 제작 챔버)를 연결하고, 상기 챔버에서 증발원을 이용하여 캐리어 기판 면에 소정 면적을 덮도록 물질을 증착시키되, 상기 캐리어 기판 면은 균일하게 분포되는 히터를 구비하고 있어 증발물이 증착된 캐리어 기판을 면
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