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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0083893 (2020-07-08) | |
공개번호 | 10-2022-0006211 (2022-01-17) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200083893 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 니트릴기와 에테르관능기를 포함하는 노볼락폴리머 및 이를 포함하는 하드마스크용 조성물로써, 내에칭성과 용해성 및 평탄성을 동시에 만족하는 것을 특징으로 한다.
하기 화합물군 A의 화합물.[화합물군 A]
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