초록 ▼

웨이퍼와 관련된 전기 아크 위험요소를 검출하기 위한 방법, 비-일시적인 컴퓨터 판독가능 매체, 및 검출 시스템이 제공된다.검출 시스템은, 측정 유닛, 전극, 및 처리 유닛을 포함할 수 있다.측정 유닛은, 테스트 기간 동안 전극의 전기적 파라미터를 측정함으로써 측정 결과를 제공하도록 구성될 수 있으며, 그 테스트 기간 동안, 웨이퍼는 전극에 관하여 이동될 수 있고, 그 테스트 기간 동안, 특정 전기장이 전극과 웨이퍼 사이에 형성될 수 있고, 특정 전기장은, 웨이퍼의 부분적으로 탈착된 전도성 요소들의 탈착된 단부들이 웨이퍼로부터 멀어지

웨이퍼와 관련된 전기 아크 위험요소를 검출하기 위한 방법, 비-일시적인 컴퓨터 판독가능 매체, 및 검출 시스템이 제공된다.검출 시스템은, 측정 유닛, 전극, 및 처리 유닛을 포함할 수 있다.측정 유닛은, 테스트 기간 동안 전극의 전기적 파라미터를 측정함으로써 측정 결과를 제공하도록 구성될 수 있으며, 그 테스트 기간 동안, 웨이퍼는 전극에 관하여 이동될 수 있고, 그 테스트 기간 동안, 특정 전기장이 전극과 웨이퍼 사이에 형성될 수 있고, 특정 전기장은, 웨이퍼의 부분적으로 탈착된 전도성 요소들의 탈착된 단부들이 웨이퍼로부터 멀어지게 이동하도록 유도한다.처리 유닛은, 측정 결과에 기반하여 전기 아크 위험요소의 존재를 결정하도록 구성될 수 있다.

대표청구항 ▼

웨이퍼와 관련된 전기 아크 위험요소를 검출하기 위한 검출 시스템으로서,전극;테스트 기간 동안 상기 전극의 전기적 파라미터를 측정함으로써 측정 결과를 제공하도록 구성되는 측정 유닛 ― 상기 테스트 기간 동안, 상기 웨이퍼는 상기 전극에 관하여 이동되고, 상기 테스트 기간 동안, 상기 웨이퍼의 부분적으로 탈착된 전도성 요소들의 탈착된 단부들이 상기 웨이퍼로부터 멀어지게 이동하도록 유도하는 특정 전기장이 상기 전극과 상기 웨이퍼 사이에 형성됨 ―; 및 상기 측정 결과에 기반하여 상기 전기 아크 위험요소의 존재를 결정하도록 구성되는 처리

웨이퍼와 관련된 전기 아크 위험요소를 검출하기 위한 검출 시스템으로서,전극;테스트 기간 동안 상기 전극의 전기적 파라미터를 측정함으로써 측정 결과를 제공하도록 구성되는 측정 유닛 ― 상기 테스트 기간 동안, 상기 웨이퍼는 상기 전극에 관하여 이동되고, 상기 테스트 기간 동안, 상기 웨이퍼의 부분적으로 탈착된 전도성 요소들의 탈착된 단부들이 상기 웨이퍼로부터 멀어지게 이동하도록 유도하는 특정 전기장이 상기 전극과 상기 웨이퍼 사이에 형성됨 ―; 및 상기 측정 결과에 기반하여 상기 전기 아크 위험요소의 존재를 결정하도록 구성되는 처리 유닛을 포함하는, 웨이퍼와 관련된 전기 아크 위험요소를 검출하기 위한 검출 시스템.