초록 ▼

진공 챔버의 청정도를 모니터링하기 위한 청정도 모니터가 개시되어 있다.청정도 모니터는 질량 분광계, 분자 응집 및 방출 유닛 및 분석기를 포함할 수 있다.분자 응집 및 방출 유닛은 (a) 응집 기간 동안, 진공 챔버에 존재하는 유기 분자들을 응집하고, (b) 방출 기간 동안 유기 분자들의 하위 세트의 방출을 질량 분광계 쪽으로 유도하도록 구성된다.질량 분광계는 진공 챔버 내의 환경을 모니터링하고 환경의 함유물을 나타내는 검출 신호들을 생성하도록 구성되고; 여기서, 검출 신호들의 제1 하위 세트는 유기 분자들의 하위 세트의 존재를 나

진공 챔버의 청정도를 모니터링하기 위한 청정도 모니터가 개시되어 있다.청정도 모니터는 질량 분광계, 분자 응집 및 방출 유닛 및 분석기를 포함할 수 있다.분자 응집 및 방출 유닛은 (a) 응집 기간 동안, 진공 챔버에 존재하는 유기 분자들을 응집하고, (b) 방출 기간 동안 유기 분자들의 하위 세트의 방출을 질량 분광계 쪽으로 유도하도록 구성된다.질량 분광계는 진공 챔버 내의 환경을 모니터링하고 환경의 함유물을 나타내는 검출 신호들을 생성하도록 구성되고; 여기서, 검출 신호들의 제1 하위 세트는 유기 분자들의 하위 세트의 존재를 나타낸다.분석기는 검출 신호들에 기초하여 진공 챔버의 청정도를 결정하도록 구성된다.

대표청구항 ▼

진공 챔버의 청정도를 모니터링하기 위한 시스템으로서,진공 챔버 내의 환경을 모니터링하고 상기 환경의 함유물을 나타내는 검출 신호들을 생성하도록 구성된 질량 분광계 ― 상기 검출 신호들의 제1 하위 세트는 유기 분자들의 존재를 나타냄 ―;상기 진공 챔버의 벽들로부터 적어도 부분적으로 이격된 분자 응집 및 방출 유닛 ― 상기 분자 응집 및 방출 유닛은 응집 기간 동안 상기 진공 챔버에 존재하는 유기 분자들을 응집하고 방출 기간 동안 상기 유기 분자들의 하위 세트의 방출을 상기 질량 분광계 쪽으로 유도하도록 구성되고, 상기 분자 응집 및

진공 챔버의 청정도를 모니터링하기 위한 시스템으로서,진공 챔버 내의 환경을 모니터링하고 상기 환경의 함유물을 나타내는 검출 신호들을 생성하도록 구성된 질량 분광계 ― 상기 검출 신호들의 제1 하위 세트는 유기 분자들의 존재를 나타냄 ―;상기 진공 챔버의 벽들로부터 적어도 부분적으로 이격된 분자 응집 및 방출 유닛 ― 상기 분자 응집 및 방출 유닛은 응집 기간 동안 상기 진공 챔버에 존재하는 유기 분자들을 응집하고 방출 기간 동안 상기 유기 분자들의 하위 세트의 방출을 상기 질량 분광계 쪽으로 유도하도록 구성되고, 상기 분자 응집 및 방출 유닛은, 상기 분자 응집 및 방출 유닛을 가열하도록 구성된 가열 요소 및 상기 분자 응집 및 방출 유닛을 냉각시키도록 구성된 냉각 유닛을 포함함 ―; 및상기 검출 신호들에 기초하여 상기 진공 챔버의 청정도를 결정하도록 구성된 분석기를 포함하는, 진공 챔버의 청정도를 모니터링하기 위한 시스템.