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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0146229 (2020-11-04) | |
공개번호 | 10-2022-0060342 (2022-05-11) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200146229 | |
발명자 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
코어가 산화세륨 입자로 코팅된 복합 입자의 제조방법, 상기 제조방법으로 제조된 복합입자 및 상기 복합입자를 포함하는 화학적 기계적 평탄화 조성물이 개시된다. 상기 코어가 산화세륨 입자로 코팅된 복합 입자의 제조방법으로 제조된 복합 입자는 제조 시 수열합성 공정을 포함하지 않아 입자 표면에 높은 비율의 Ce3+ 을 함유하여 높은 연마율을 나타낼 수 있다.
코어가 산화세륨 입자로 코팅된 복합 입자의 제조방법으로서, 상기 복합 입자의 제조방법은,a) 코어 입자 분산액 및 산화세륨 입자 분산액을 준비하는 단계;b) 상기 코어 입자 분산액 및 산화세륨 입자 분산액을 혼합하여 혼합 분산액을 제조하는 단계; 및c) 상기 혼합 분산액에 pH 조절제를 첨가하고 교반하는 단계를 포함하는, 코어가 산화세륨 입자로 코팅된 복합 입자의 제조방법.
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