초록

본 발명은 다성분계의 코어층을 포함하는 극자외선 노광용 펠리클에 관한 것으로, 90% 이상의 높은 극자외선 투과율과 0.04% 이하의 극자외선 반사율을 제공하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 극자외선 노광용 펠리클은 중심 부분에 개방부가 형성된 지지층과, 개방부를 덮도록 지지층 위에 형성되는 펠리클층을 포함한다. 여기서 펠리클층은 M-B 및 M-Si(M은 Zr, Mo, Ru, Nb, Y, W, Ti 및 Ir로 이루어진 그룹에서 선택된 하나) 중 적어도 하나의 2성분계 소재를 다층으로 적층하여 형성되는 코어층을 포함한다.

대표청구항 ▼

다층으로 형성되는 코어층을 구비하는 펠리클층;을 포함하고,상기 코어층은,M-B 및 M-Si(M은 Zr, Mo, Ru, Nb, Y, W, Ti 및 Ir로 이루어진 그룹에서 선택된 하나) 중 적어도 하나의 2성분계 소재로 형성되는 2성분계의 코어층; 및상기 2성분계의 코어층에 적층되며, M-B-Si의 3성분계 소재로 형성되는 3성분계의 코어층;을 포함하되,상기 3성분계의 코어층을 중심으로 일면에 M-B 소재의 2성분계의 코어층이 형성되고, 상기 일면에 반대되는 타면에 M-Si 소재의 2성분계의 코어층이 형성되는 것을 특징으로 하는 극자

다층으로 형성되는 코어층을 구비하는 펠리클층;을 포함하고,상기 코어층은,M-B 및 M-Si(M은 Zr, Mo, Ru, Nb, Y, W, Ti 및 Ir로 이루어진 그룹에서 선택된 하나) 중 적어도 하나의 2성분계 소재로 형성되는 2성분계의 코어층; 및상기 2성분계의 코어층에 적층되며, M-B-Si의 3성분계 소재로 형성되는 3성분계의 코어층;을 포함하되,상기 3성분계의 코어층을 중심으로 일면에 M-B 소재의 2성분계의 코어층이 형성되고, 상기 일면에 반대되는 타면에 M-Si 소재의 2성분계의 코어층이 형성되는 것을 특징으로 하는 극자외선 노광용 펠리클.