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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-0179243 (2020-12-21) | |
공개번호 | 10-2022-0089727 (2022-06-29) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020200179243 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) | |
법적상태 | 취하 |
본 발명은 정전척 히터를 제공한다. 정전척 히터는, 금속으로 형성된 열확산판, 열확산판의 상부에 배치되고, 하면에 형성된 하부 점착층에 의해 열확산판의 상면에 접착되는 하부 절연층, 하부 절연층의 상부에 배치되는 본딩 시트, 본딩 시트의 상부에 배치되고, 그 하면이 본딩 시트의 상면에 접착되며, 복수의 구역으로 구분된 발열체, 및 발열체의 상부에 배치되고, 하면에 형성된 상부 점착층에 의해 발열체의 상면 및 본딩 시트의 상면에 접착되는 상부 절연층을 포함할 수 있다.
금속으로 형성된 열확산판;상기 열확산판의 상부에 배치되고, 하면에 형성된 하부 점착층에 의해 상기 열확산판의 상면에 접착되는, 하부 절연층;상기 하부 절연층의 상부에 배치되는 본딩 시트;상기 본딩 시트의 상부에 배치되고, 그 하면이 상기 본딩 시트의 상면에 접착되며, 복수의 구역으로 구분된 발열체; 및상기 발열체의 상부에 배치되고, 하면에 형성된 상부 점착층에 의해 상기 발열체의 상면 및 상기 본딩 시트의 상면에 접착되는 상부 절연층을 포함하는 정전척 히터.
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