[특허]세라믹 히터

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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H05B-003/14 H01L-021/02 H01L-021/205 H01L-021/31 H01L-021/683 H05B-003/74
출원번호	10-2021-7028960 (2021-09-09)
공개번호	10-2021-0125539 (2021-10-18)
우선권정보	일본(JP) JP-P-2019-049548 (2019-03-18)
국제출원번호	PCT/JP2020/009188 (2020-03-04)
국제공개번호	WO 2020/189286 (2020-09-24)
번역문제출일자	2021-09-09
DOI	http://doi.org/10.8080/1020217028960
발명자 / 주소	다카사키 히데아키 / 일본 ******* 아이치켄 나고야시 미즈호쿠 스다쵸 반 *고 엔지케이 인슐레이터 엘티디 내
출원인 / 주소	엔지케이 인슐레이터 엘티디 / 일본 아이치켄 나고야시 미즈호쿠 스다쵸 -* (*-**)
대리인 / 주소	장수길; 김승식
심사청구여부	있음 (2021-09-09)
법적상태	공개

초록

세라믹 히터(31)는, 웨이퍼 적재면(32a)을 구비한 AlN 세라믹 기체(32)에, 웨이퍼 적재면(32a)에 가까운 쪽으로부터 플라스마 발생용의 RF 전극(33), 히터 전극(34)이 이 순서로 이격된 상태로 매설되어 있다.AlN 세라믹 기체(32)는, RF 전극(33)과 히터 전극(34) 사이에 마련된 AlN 세라믹 고저항층과, 고저항층 이외의 AlN 세라믹 저저항층을 구비하고 있다.고저항층과 저저항층 모두 Si, Mg 및 Ti을 포함한다.고저항층은, 저저항층에 비해, Mg 및 Ti의 함유량이 많아 체적 저항률이 높다.

대표청구항

웨이퍼 적재면을 구비한 AlN 세라믹 기체에, 상기 웨이퍼 적재면에 가까운 쪽으로부터 플라스마 발생용 전극, 히터 전극이 이 순서로 이격된 상태로 매설된 세라믹 히터이며,상기 AlN 세라믹 기체는,상기 플라스마 발생용 전극과 상기 히터 전극 사이에 마련된 AlN 세라믹 고저항층과,상기 고저항층 이외의 AlN 세라믹 저저항층을 구비하고,상기 고저항층과 상기 저저항층 모두 Si, Mg 및 Ti을 포함하고,상기 고저항층은, 상기 저저항층에 비해, Mg 및 Ti의 함유량이 많아 체적 저항률이 높은, 세라믹 히터.

이 특허에 인용된 특허 (3)

[일본] HEATING APPARATUS AND MANUFACTURE THEREOF | KATSUTA YUJI, ARAKI KIYOSHI, OOHASHI KUROAKI
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[일본] ELECTROSTATIC CHUCK | NAGASAKI KOICHI
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[국제] OXIDE CERAMIC MATERIAL AND CERAMIC ELECTRONIC COMPONENT | HIROSE SAKYO, KIMURA TSUYOSHI,
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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