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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

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정전척 히터 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/공개특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01L-021/67
  • B23Q-003/15
  • H01L-021/683
  • H01L-021/687
  • H02N-013/00
  • H05B-003/14
  • H05B-003/20
출원번호 10-2020-0179243 (2020-12-21)
공개번호 10-2022-0089727 (2022-06-29)
DOI http://doi.org/10.8080/1020200179243
발명자 / 주소
  • 김동주 / 인천광역시 서구 청마로 **, ***동 ***호 (당하동, 검단 힐스테이트 *차)
출원인 / 주소
  • 주식회사 와트레인 / 경기도 김포시 양촌읍 황금로***번길 ** ((주)와트레인)
대리인 / 주소
  • 홍승훈
심사진행상태 취하(심사미청구)
법적상태 취하

초록

본 발명은 정전척 히터를 제공한다. 정전척 히터는, 금속으로 형성된 열확산판, 열확산판의 상부에 배치되고, 하면에 형성된 하부 점착층에 의해 열확산판의 상면에 접착되는 하부 절연층, 하부 절연층의 상부에 배치되는 본딩 시트, 본딩 시트의 상부에 배치되고, 그 하면이 본딩 시트의 상면에 접착되며, 복수의 구역으로 구분된 발열체, 및 발열체의 상부에 배치되고, 하면에 형성된 상부 점착층에 의해 발열체의 상면 및 본딩 시트의 상면에 접착되는 상부 절연층을 포함할 수 있다.

대표청구항

금속으로 형성된 열확산판;상기 열확산판의 상부에 배치되고, 하면에 형성된 하부 점착층에 의해 상기 열확산판의 상면에 접착되는, 하부 절연층;상기 하부 절연층의 상부에 배치되는 본딩 시트;상기 본딩 시트의 상부에 배치되고, 그 하면이 상기 본딩 시트의 상면에 접착되며, 복수의 구역으로 구분된 발열체; 및상기 발열체의 상부에 배치되고, 하면에 형성된 상부 점착층에 의해 상기 발열체의 상면 및 상기 본딩 시트의 상면에 접착되는 상부 절연층을 포함하는 정전척 히터.

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