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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7004648 (2020-02-18) | |
공개번호 | 10-2020-0022042 (2020-03-02) | |
등록번호 | 10-2554490-0000 (2023-07-06) | |
우선권정보 | 미국(US) 15/653,299 (2017-07-18) | |
국제출원번호 | PCT/US2018/042154 (2018-07-13) | |
국제공개번호 | WO 2019/018240 (2019-01-24) | |
번역문제출일자 | 2020-02-18 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207004648 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-06-28) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
진공 챔버의 청정도를 모니터링하기 위한 청정도 모니터가 개시되어 있다.청정도 모니터는 질량 분광계, 분자 응집 및 방출 유닛 및 분석기를 포함할 수 있다.분자 응집 및 방출 유닛은 (a) 응집 기간 동안, 진공 챔버에 존재하는 유기 분자들을 응집하고, (b) 방출 기간 동안 유기 분자들의 하위 세트의 방출을 질량 분광계 쪽으로 유도하도록 구성된다.질량 분광계는 진공 챔버 내의 환경을 모니터링하고 환경의 함유물을 나타내는 검출 신호들을 생성하도록 구성되고; 여기서, 검출 신호들의 제1 하위 세트는 유기 분자들의 하위 세트의 존재를 나
진공 챔버의 청정도를 모니터링하기 위한 시스템으로서,진공 챔버 내의 환경을 모니터링하고 상기 환경의 함유물을 나타내는 검출 신호들을 생성하도록 구성된 질량 분광계 ― 상기 검출 신호들의 제1 하위 세트는 유기 분자들의 존재를 나타냄 ―;상기 진공 챔버의 벽들로부터 적어도 부분적으로 이격된 분자 응집 및 방출 유닛 ― 상기 분자 응집 및 방출 유닛은 응집 기간 동안 상기 진공 챔버에 존재하는 유기 분자들을 응집하고 방출 기간 동안 상기 유기 분자들의 하위 세트의 방출을 상기 질량 분광계 쪽으로 유도하도록 구성되고, 상기 분자 응집 및
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