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연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

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캐소드 장치 및 스퍼터링 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • H01J-037/34
  • C23C-014/34
출원번호 10-2020-7005934 (2020-02-28)
등록번호 10-2105868-0000 (2020-04-23)
우선권정보 일본(JP) JP-P-2018-199802 (2018-10-24)
국제출원번호 PCT/JP2019/039062 (2019-10-03)
번역문제출일자 2020-02-28
DOI http://doi.org/10.8080/1020207005934
발명자 / 주소
  • 타시로, 유키히토 / 일본 ***-**** 카나가와 치가사키시 하기소노 **** 가부시키가이샤 알박 내
  • 나카노, 카츠아키 / 일본 ***-**** 카나가와 치가사키시 하기소노 **** 가부시키가이샤 알박 내
출원인 / 주소
  • 가부시키가이샤 알박 / 일본 가나가와껭 지가사끼시 하기소노 ****반찌
대리인 / 주소
  • 박영우
심사청구여부 있음 (2020-02-28)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

캐소드 장치(20)는 자기 회로(27)가 고정되는 회전 플레이트(26), 모터(21M)로부터 동력을 수신할 때에 상기 회전 플레이트(26)를 회전시키는 회전 샤프트(25)를 구비하는 회전 메커니즘(21), 선형 운동 병렬 링크 메커니즘(22 내지 24), 그리고 컨트롤러(30)를 포함한다. 상기 선형 운동 병렬 링크 메커니즘(22 내지 24)은 엔드 이펙터(24), 각기 원위측 단부 및 근위측 단부를 가지는 여섯의 링크들(23), 그리고 셋의 선형 운동 메커니즘들(22)을 포함한다. 상기 엔드 이펙터(24)는 상기 회전 샤프트(25

대표청구항

캐소드 장치에 있어서,자기 회로가 고정되는 회전 플레이트를 포함하며;모터로부터 동력을 수신할 때에 상기 회전 플레이트를 회전시키는 회전 샤프트를 구비하는 회전 메커니즘을 포함하고;엔드 이펙터(end effector), 각기 원위측 단부 및 근위측 단부를 가지는 여섯의 링크(link)들 그리고 셋의 선형 운동 메커니즘들을 구비하는 선형 운동 병렬 링크 메커니즘(linear motion parallel link mechanism)을 포함하며, 상기 엔드 이펙터는 상기 회전 샤프트를 회전하게 지지하고, 상기 링크들의 원위측 단부들은 상기

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