[특허]소수성 정전 척

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/683 B23Q-003/15 H02N-013/00
출원번호	10-2020-7013503 (2020-05-12)
공개번호	10-2020-0056469 (2020-05-22)
우선권정보	미국(US) 15/782,650 (2017-10-12)
국제출원번호	PCT/US2018/052496 (2018-09-24)
국제공개번호	WO 2019/074661 (2019-04-18)
번역문제출일자	2020-05-12
DOI	http://doi.org/10.8080/1020207013503
발명자 / 주소	벨로어, 킴 / 미국 *** 캘리포니아주 산 호세 덴스모어 코트 부치버거, 주니어, 더글라스 에이. / 미국 * 캘리포니아주 리버모어 빈티지 레인 쿠마르, 니란잔 / 미국 * 캘리포니아주 산타 클라라 스니드 드라이브 라마스와미, 세샤드리 / 미국 * 캘리포니아주 사라토가 홀스쇼 드라이브 ***
출원인 / 주소	어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 / 미국 *** 캘리포니아 산타 클라라 바우어스 애브뉴 **
대리인 / 주소	양영준; 백만기
심사청구여부	있음 (2020-05-12)
심사진행상태	거절결정(일반)
법적상태	거절

초록

본 개시내용은 정전 척에 관한 것으로, 정전 척은: 처리 동안 상부에 기판을 지지하기 위한 유전체 제1 표면을 갖는 기부; 및 사용 동안 기판을 유전체 제1 표면에 정전기적으로 결합시키는 것을 용이하게 하도록 유전체 제1 표면에 근접하게 기부 내에 배치되는 전극을 포함하며, 여기서, 유전체 제1 표면은, 물과 접촉할 때 기판을 유전체 제1 표면에 정전기적으로 유지할 만큼 충분히 소수성이다.정전 척을 만들고 습식 조건들 하에서 사용하는 방법들이 또한 개시된다.

대표청구항

정전 척으로서,처리 동안 상부에 기판을 지지하기 위한 유전체 제1 표면을 갖는 기부; 및사용 동안 상기 기판을 상기 유전체 제1 표면에 정전기적으로 결합시키는 것을 용이하게 하도록 상기 유전체 제1 표면에 근접하게 상기 기부 내에 배치되는 전극을 포함하며, 상기 유전체 제1 표면은, 물과 접촉할 때 상기 기판을 상기 유전체 제1 표면에 정전기적으로 유지할 만큼 충분히 소수성인, 정전 척.

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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