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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2020-7033244 (2020-11-18) | |
공개번호 | 10-2021-0002565 (2021-01-08) | |
등록번호 | 10-2502558-0000 (2023-02-17) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2018-151527 (2018-08-10) | |
국제출원번호 | PCT/JP2019/026613 (2019-07-04) | |
국제공개번호 | WO 2020/031572 (2020-02-13) | |
번역문제출일자 | 2020-11-18 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020207033244 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2020-11-18) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명의 스패터링 장치는, 타겟과 기판의 사이에 설치되어 자기회로에 대응하는 개구를 가지고 상기 자기회로에 대응하지 않는 부분을 가리는 판상(板狀)의 레귤레이터를 가진다.상기 레귤레이터는, 적어도 상기 기판의 면적의 절반 이상의 면적을 가린다.상기 개구의 형상이, 선형 윤곽을 가진다.상기 개구가 상기 타겟의 회전축선 방향에서 볼 때 상기 자기회로와 일치하도록 배치되어 있고, 상기 타겟의 상기 회전축선과 상기 기판의 회전축선이 평행하게 배치된다.
캐소드에 장착된 타겟에 대하여 성막해야 할 기판을 대향시키고, 상기 타겟의 이면(裏面)에 설치된 자기회로를 이용해 상기 타겟을 스패터링하여 상기 기판에 성막하는 스패터링 장치에 있어서,상기 자기회로의 지름 치수가 상기 타겟의 반경 보다 작게 설정되고,상기 스패터링 장치는,상기 기판을, 상기 기판의 회전축선 주위에 회전하는 기판 회전부와,상기 타겟을, 상기 타겟의 회전축선 주위에 회전하는 타겟 회전부와,상기 타겟과 상기 기판의 사이에 설치되어, 상기 자기회로에 대응하는 개구를 가지고, 상기 자기회로에 대응하지 않는 부분을 가리는 판상
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