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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0017400 (2021-02-08) | |
공개번호 | 10-2022-0115652 (2022-08-18) | |
등록번호 | 10-2509628-0000 (2023-03-09) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210017400 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-02-08) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 고주파 유도가열 장치를 개시한다. 개시된 고주파 유도가열 장치는, 챔버의 내부에 설치되며 증착을 위한 물질을 수용하는 크루시블과, 크루시블을 가열하도록 고주파를 발생하는 유도가열 유닛과, 유도가열 유닛에 외부의 전력을 인가하도록 챔버에 결합되어 유도가열 유닛과 연결되는 피드스루 유닛을 구비하는 것을 특징으로 한다. 따라서, 본 발명은 고주파를 발진하여 크루시블을 가열하는 유도 코일부를 피드스루 유닛에 병렬로 접속하여 전압을 낮추면서 전류를 높일 수 있으며, 냉각수의 순환을 위한 코일 냉각부를 유도가열 유닛과 피드스루 유닛
챔버의 내부에 설치되며, 증착을 위한 물질을 수용하는 크루시블; 상기 크루시블을 가열하도록 고주파를 발생하는 유도가열 유닛; 및 상기 유도가열 유닛에 외부의 전력을 인가하도록 상기 챔버에 결합되어 상기 유도가열 유닛과 연결되는 피드스루 유닛;을 포함하며,상기 유도가열 유닛은, 상기 크루시블을 가열하며, 중공체 형상으로 냉각수가 순환하는 유도 코일부; 및 상기 유도 코일부를 상기 피드스루 유닛에 병렬로 연결하는 코일접속 단자부;를 포함하고,상기 코일접속 단자부는, 상기 피드스루 유닛에 결합되는 단자결합부재; 및상기 단자결합부재에 고정
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