$\require{mediawiki-texvc}$

연합인증

연합인증 가입 기관의 연구자들은 소속기관의 인증정보(ID와 암호)를 이용해 다른 대학, 연구기관, 서비스 공급자의 다양한 온라인 자원과 연구 데이터를 이용할 수 있습니다.

이는 여행자가 자국에서 발행 받은 여권으로 세계 각국을 자유롭게 여행할 수 있는 것과 같습니다.

연합인증으로 이용이 가능한 서비스는 NTIS, DataON, Edison, Kafe, Webinar 등이 있습니다.

한번의 인증절차만으로 연합인증 가입 서비스에 추가 로그인 없이 이용이 가능합니다.

다만, 연합인증을 위해서는 최초 1회만 인증 절차가 필요합니다. (회원이 아닐 경우 회원 가입이 필요합니다.)

연합인증 절차는 다음과 같습니다.

최초이용시에는
ScienceON에 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 로그인 (본인 확인 또는 회원가입) → 서비스 이용

그 이후에는
ScienceON 로그인 → 연합인증 서비스 접속 → 서비스 이용

연합인증을 활용하시면 KISTI가 제공하는 다양한 서비스를 편리하게 이용하실 수 있습니다.

합성 쿼츠 제조 방법 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • C03B-020/00
  • C03B-019/06
출원번호 10-2021-0071263 (2021-06-02)
등록번호 10-2388688-0000 (2022-04-15)
우선권정보 대한민국(KR) 1020200138487 (2020-10-23)
DOI http://doi.org/10.8080/1020210071263
발명자 / 주소
  • 김돈한 / 경기도 용인시 기흥구 동백*로**번길 *-**, **동 (중동, 동연재)
출원인 / 주소
  • 비씨엔씨 주식회사 / 경기도 이천시 신둔면 마소로**번길 **
대리인 / 주소
  • 특허법인한남
심사청구여부 있음 (2021-06-02)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록

본 발명은 반도체 제조 공정 중 사용되는 포커스 링 또는 엣지링 세라믹부재로 웨이퍼를 지지하고 안착시키는 용도로 사용되는 합성 쿼츠의 제조방법에 관한 것으로, 시간 및 양적 손실을 최소화하고 합성 쿼츠 생산 속도를 크게 증가시켜 수율 향상에 긍정적인 실린더 타입의 합성 쿼츠 제조 방법을 제공한다.

대표청구항 ▼

막대 형상의 증착부재의 외면을 따라 산화 규소 미립자 분말을 소정의 두께로 증착시켜 모재를 형성하는 증착 단계;상기 모재를 열처리를 통해 소결시켜 잉곳을 형성하는 소결 단계; 및상기 잉곳을 분리하는 탈형 단계;를 포함하되,상기 소결 및 탈형 단계에 사용되는 카본 재질 몰드의 외벽은 2중으로 형성되고, 상기 몰드 및 코어는 잉곳이 용이하게 탈형될 수 있도록 탈형되는 방향으로 갈수록 내경이 증가하며, 상기 몰드의 외벽은 사선으로 잘려 분할된 형상을 가지되, 분할된 몰드의 외벽은 소정 간격 이격되도록 구비되는 것을 특징으로 하는 합성 쿼

이 특허에 인용된 특허 (2)

  1. [한국] 고순도 합성 실리카 및 그로부터 제조된 반도체 지그와 같은 아이템 | 코아페스, 리차드 벤자민, 먼디, 알렌, 세이스, 랜 조지
    상세보기
  2. [한국] 강화된 입자 증착 시스템 및 방법 | 스털링, 데이비드, 맥도날드
    상세보기

관련 콘텐츠

저작권 관리 안내
섹션별 컨텐츠 바로가기

AI-Helper ※ AI-Helper는 오픈소스 모델을 사용합니다.

AI-Helper 아이콘
AI-Helper
안녕하세요, AI-Helper입니다. 좌측 "선택된 텍스트"에서 텍스트를 선택하여 요약, 번역, 용어설명을 실행하세요.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.

선택된 텍스트

맨위로