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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0113609 (2021-08-27) | |
공개번호 | 10-2023-0033092 (2023-03-08) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210113609 | |
발명자 / 주소 | ||
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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법적상태 | 공개 |
본 발명의 일 실시 예에 따른 디스플레이 공정 마스크 제조 장치는, 스테이지; 상기 스테이지의 외측에 위치하는 클램핑 장치; 및 일 방향으로 이동하여 상기 스테이지 상에 배치되는 처킹 장치; 을 포함하되, 상기 클램핑 장치는: 제1 클램프; 및 상기 제1 클램프로부터 제1 방향으로 이격되어, 상기 스테이지를 기준으로 상기 제1 클램프의 반대 편에 위치하는 제2 클램프; 를 포함하고, 상기 처킹 장치는: 제1 척; 및 상기 제1 척으로부터 상기 제1 방향에 교차되는 제2 방향으로 이격되는 제2 척; 을 포함할 수 있다.
스테이지;상기 스테이지의 외측에 위치하는 클램핑 장치; 및일 방향으로 이동하여 상기 스테이지 상에 배치되는 처킹 장치; 을 포함하되,상기 클램핑 장치는:제1 클램프; 및상기 제1 클램프로부터 제1 방향으로 이격되어, 상기 스테이지를 기준으로 상기 제1 클램프의 반대 편에 위치하는 제2 클램프; 를 포함하고,상기 처킹 장치는:제1 척; 및상기 제1 척으로부터 상기 제1 방향에 교차되는 제2 방향으로 이격되는 제2 척; 을 포함하는 디스플레이 공정 마스크 제조 장치.
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