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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2021-0157347 (2021-11-16) | |
| 공개번호 | 10-2022-0074742 (2022-06-03) | |
| 등록번호 | 10-2676466-0000 (2024-06-14) | |
| 우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2020-197194 (2020-11-27) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020210157347 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2021-11-16) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
[과제] 직사각형 기판과 원형 기판 양쪽의 기판을 검사할 수 있는 기술을 제공한다.[해결 수단] 본 개시의 일 태양에 의한 검사 장치는, 교환 가능한 체인지 키트를 갖는 검사 장치에 있어서, 상기 체인지 키트는, 상기 검사 장치 내로 교환할 수 있게 장착되는 제 1 보지부 및 제 2 보지부를 가지며, 상기 제 1 보지부는, 직사각형 기판을 흡착하여 보지할 수 있게 구성되며, 상기 제 2 보지부는, 원형 기판을 흡착하여 보지할 수 있게 구성되며, 상기 제 1 보지부 및 상기 제 2 보지부는, 검사 대상의 기판에 따라서 교환된다.
교환 가능한 체인지 키트를 갖는 검사 장치에 있어서,상기 체인지 키트는, 상기 검사 장치 내에 교환할 수 있게 장착되는 제 1 보지부 및 제 2 보지부를 가지며,상기 제 1 보지부는 직사각형 기판을 흡착하여 보지할 수 있게 구성되며,상기 제 2 보지부는 원형 기판을 흡착하여 보지할 수 있게 구성되며,상기 제 1 보지부 및 상기 제 2 보지부는 검사 대상의 기판에 따라서 교환되고,상기 검사 장치 내에는, 상기 제 1 보지부 및 상기 제 2 보지부를 장착하기 위한 끼워넣음 구멍이 마련되어 있으며,상기 제 1 보지부는,상면에 상기 직사각
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