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| 국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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| 국제특허분류(IPC8판) |
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| 출원번호 | 10-2021-0174516 (2021-12-08) | |
| 등록번호 | 10-2396865-0000 (2022-05-06) | |
| DOI | http://doi.org/10.8080/1020210174516 | |
| 발명자 / 주소 |
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| 출원인 / 주소 |
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| 대리인 / 주소 |
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| 심사청구여부 | 있음 (2021-12-08) | |
| 심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
| 법적상태 | 등록 |
본 발명은 정전척에 관한 것으로서, 본 발명의 정전척은, 베이스 기재, 상기 베이스 기재 상에 고정되는 정전척 플레이트로서, 내부에 전극을 가지는 상기 정전척 플레이트, 및 상기 베이스 기재의 구멍에 상기 전극으로 전력 공급을 위해 배치된 전극부를 포함하고, 상기 전극부는, 상기 베이스 기재의 구멍에 삽입되는 하우징, 상기 하우징 내벽을 관통하여 일측 단부가 상기 전극과 접촉하는 전극 로드, 및 상기 하우징 내벽에서 상기 전극 로드를 다점 지지하는 탄성 지지체를 포함할 수 있다.
베이스 기재; 상기 베이스 기재 상에 고정되는 정전척 플레이트로서, 내부에 전극을 가지는 상기 정전척 플레이트; 및상기 베이스 기재의 구멍에 상기 전극으로 전력 공급을 위해 배치된 전극부를 포함하고,상기 전극부는, 상기 베이스 기재의 구멍에 삽입되는 하우징;상기 하우징 내벽을 관통하여 일측 단부가 상기 전극과 접촉하는 전극 로드; 및상기 하우징 내벽에서 상기 전극 로드를 다점 지지하는 탄성 지지체를 포함하고,상기 탄성 지지체는 상기 하우징 내벽의 원주를 따라 다점에서 상기 전극 로드에 중심 방향으로 탄성력을 가하는 정전척.
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