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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0181559 (2021-12-17) | |
공개번호 | 10-2023-0092290 (2023-06-26) | |
등록번호 | 10-2659224-0000 (2024-04-16) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210181559 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-12-17) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은 레이저를 관통시키는 상부 투과창을 구비하는 챔버 하우징과, 챔버 하우징의 내부에서 상부 투과창의 하부에 이격되어 위치하며, 멀티칩이 안착되는 기판을 지지하는 기판 지지대와, 기판 지지대를 상승 및 하강시키는 기판 승강 수단과, 챔버 하우징의 외부에서 상기 상부 투과창을 통하여 멀티칩의 상부로 레이저를 조사하는 레이저 조사 수단 및 상부 투과창의 하부에 위치하여 레이저를 투과시키며, 멀티칩의 본딩 과정에서 멀티칩의 상면과 접촉되는 고착 방지 필름을 포함하는 멀티칩 레이저 본딩 장지를 개시한다.
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