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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-7006278 (2021-03-02) | |
공개번호 | 10-2021-0034670 (2021-03-30) | |
등록번호 | 10-2415698-0000 (2022-06-28) | |
우선권정보 | 이스라엘(IL) 260956 (2018-08-02) | |
국제출원번호 | PCT/IL2019/050872 (2019-08-01) | |
국제공개번호 | WO 2020/026249 (2020-02-06) | |
번역문제출일자 | 2021-03-02 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020217006278 | |
발명자 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-04-25) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
본 발명은, 특정 컬럼 및 웨이퍼 전압에서 동작되는 하전 입자 빔 컬럼과 함께 사용될, 물체로부터 방출되는 전자의 검출을 위한 센서에 관한 것이다.센서는, 센서의 활성 영역과의 음이온들의 상호작용을 적어도 감소시키면서 전자 에너지 손실을 최소화하도록 구성되고 동작가능하다.센서는 또한, 활성 영역의 음극선발광 효율의 점진적 열화, 및 센서의 동작 동안 발생하고 신틸레이터의 수명 전체에 걸쳐 진전되는 음극선발광의 동적 변화 둘 모두를 최소화하도록 구성되고 동작가능하다.
물체로부터 방출되는 전자의 검출을 위한 센서로서,활성 영역 및 특정 수명을 갖는 신틸레이터 구조 ― 상기 신틸레이터 구조는, 음극선발광(cathodoluminescence)에 의해 특정 충돌 에너지의 전자들의 충돌 시 특정 파장 범위의 광자들을 방출하도록 구성되고 동작가능한 고속 신틸레이터 물질을 포함함 ―; 및상기 신틸레이터 구조와 경계를 이루고 상기 물체로부터 방출되는 전자들에 노출되는 코팅 구조를 포함하며, 상기 코팅 구조는 상기 활성 영역과 상기 코팅 구조 사이의 계면에 걸쳐 균일한 전위를 유지하도록 구성되고 동작가능하고,
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