초록 ▼

[과제] 증발원 장치에 있어서, 온도의 저하를 억제하면서, 증착 재료가 통과하는 개구의 위치 제어를 행할 수 있는 증발원 장치를 제공한다.[해결 수단] 증착 재료가 수용되는, 개구를 가지는 용기와, 용기를 가열하는 가열 수단과, 용기와, 가열 수단을 수용하는 수용 부재를 가지는 증발원 장치로서, 수용 부재는, 용기 지지부와, 측면부와, 위치 결정부를 포함하고, 용기 지지부는, 용기의 저부의 외측의 적어도 일부를 지지하고, 위치 결정부는, 측면부로부터 용기에 대해서 봉상 또는 판상으로 돌출하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 증발원

[과제] 증발원 장치에 있어서, 온도의 저하를 억제하면서, 증착 재료가 통과하는 개구의 위치 제어를 행할 수 있는 증발원 장치를 제공한다.[해결 수단] 증착 재료가 수용되는, 개구를 가지는 용기와, 용기를 가열하는 가열 수단과, 용기와, 가열 수단을 수용하는 수용 부재를 가지는 증발원 장치로서, 수용 부재는, 용기 지지부와, 측면부와, 위치 결정부를 포함하고, 용기 지지부는, 용기의 저부의 외측의 적어도 일부를 지지하고, 위치 결정부는, 측면부로부터 용기에 대해서 봉상 또는 판상으로 돌출하여 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 증발원 장치를 이용한다.

대표청구항 ▼

증착 재료가 수용되는, 개구를 가지는 용기와,상기 용기를 가열하는 가열 수단과,상기 용기와 상기 가열 수단을 수용하는 수용 부재를 가지는 증발원 장치로서,상기 수용 부재는, 용기 지지부와, 측면부와, 위치 결정부를 포함하고,상기 용기 지지부는, 상기 용기의 저부의 외측의 일부를 제1 방향으로 지지하는 형상을 갖고,상기 위치 결정부는, 상기 측면부로부터 상기 용기에 대향하여 봉상(棒狀) 또는 판상(板狀)으로 돌출하여 설치되어, 상기 수용 부재에 대한 상기 용기의, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향, 및 상기 제1 방향 및 상기 제

증착 재료가 수용되는, 개구를 가지는 용기와,상기 용기를 가열하는 가열 수단과,상기 용기와 상기 가열 수단을 수용하는 수용 부재를 가지는 증발원 장치로서,상기 수용 부재는, 용기 지지부와, 측면부와, 위치 결정부를 포함하고,상기 용기 지지부는, 상기 용기의 저부의 외측의 일부를 제1 방향으로 지지하는 형상을 갖고,상기 위치 결정부는, 상기 측면부로부터 상기 용기에 대향하여 봉상(棒狀) 또는 판상(板狀)으로 돌출하여 설치되어, 상기 수용 부재에 대한 상기 용기의, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향, 및 상기 제1 방향 및 상기 제2 방향과 교차하는 제3 방향 중 적어도 일방에 있어서의 위치 결정을 행하고,상기 용기는 상기 수용 부재의 상기 측면부와 접촉하지 않는 것을 특징으로 하는 증발원 장치.