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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-0026000 (2022-02-28) | |
공개번호 | 10-2022-0124640 (2022-09-14) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2021-033791 (2021-03-03) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220026000 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-02-28) | |
법적상태 | 공개 |
[과제] 기판에의 성막 프로세스에 있어서의 막 두께의 측정 및 제어의 정밀도를 향상시킨다.[해결 수단] 기판에 증착 재료를 증착하여 성막을 행하는 성막 장치로서, 기판에 대해 상대 이동하면서 증착 재료를 방출하는 증발원과, 증발원으로부터의 증착 재료의 방출량을 제어하는 제1 제어 수단과, 기판과 증발원의 상대 속도를 제어하는 제2 제어 수단과, 성막 중에, 증발원으로부터의 증착 재료의 방출량을 측정하는 모니터 수단과, 성막 후에, 기판에 증착된 막의 막 두께를 측정하는 막 두께 측정 수단과, 모니터 수단에 의해 측정된 방출량 및 막
기판에 증착 재료를 증착하여 성막을 행하는 성막 장치로서,상기 기판에 대해 상대 이동하면서 상기 증착 재료를 방출하는 증발원과,상기 증발원으로부터의 상기 증착 재료의 방출량을 제어하는 제1 제어 수단과,상기 기판과 상기 증발원의 상대 속도를 제어하는 제2 제어 수단과,성막 중에, 상기 증발원으로부터의 상기 증착 재료의 방출량을 측정하는 모니터 수단과,성막 후에, 상기 기판에 증착된 막의 막 두께를 측정하는 막 두께 측정 수단과,상기 모니터 수단에 의해 측정된 상기 방출량 및 상기 막 두께 측정 수단에 의해 측정된 상기 막 두께에 기
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