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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2021-0110256 (2021-08-20) | |
공개번호 | 10-2022-0026503 (2022-03-04) | |
우선권정보 | 일본(JP) JP-P-2020-141762 (2020-08-25) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020210110256 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2021-08-20) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 공개 |
[과제] 개스킷의 내구 수명을 연장할 수 있는 도가니, 증발원 및 증착 장치를 제공한다.[해결 수단] 개스킷(150)의 양면은 평면에 의해 구성되고, 도가니 본체(110)에는, 개구부(111)를 따라 개스킷(150)이 배치되는 오목부(113)가 설치되고, 또한 오목부(113)의 저면은 평면에 의해 구성되고, 덮개(140)에 있어서의 개스킷(150)이 접하는 면도 평면에 의해 구성되며, 개스킷(150)의 재료의 선팽창 계수는 도가니 본체(110)의 재료의 선팽창 계수보다 크고, 비증착시의 온도 환경 하에서는, 개스킷(150)은 오목부
성막 재료를 수용하는 용기를 넣고 빼기 위한 개구부를 갖는 도가니 본체와,상기 개구부를 막는 덮개와,상기 도가니 본체와 덮개의 사이의 간극을 봉지하는 금속제의 개스킷을 구비하는 도가니로서,상기 개스킷의 양면은 평면에 의해 구성되고,상기 도가니 본체에는, 상기 개구부를 따라 상기 개스킷이 배치되는 오목부가 설치되고, 또한 상기 오목부의 저면은 평면에 의해 구성되고,상기 덮개 또는 상기 덮개와 상기 개스킷 사이에 설치되는 부재에서의 상기 개스킷이 접하는 면도 평면에 의해 구성되며,상기 개스킷의 재료의 선팽창 계수는 상기 도가니 본체의
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