최소 단어 이상 선택하여야 합니다.
최대 10 단어까지만 선택 가능합니다.
다음과 같은 기능을 한번의 로그인으로 사용 할 수 있습니다.
NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
---|---|---|
국제특허분류(IPC8판) |
|
|
출원번호 | 10-2022-0115501 (2022-09-14) | |
공개번호 | 10-2024-0036897 (2024-03-21) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020220115501 | |
발명자 / 주소 |
|
|
출원인 / 주소 |
|
|
대리인 / 주소 |
|
|
법적상태 | 공개 |
정전척 제조 방법은 정전척으로 제조하기 위한 알루미늄 재질 및 세라믹 재질로 이루어지는 몸체를 마련하는 단계와, 상기 몸체 중에서 알루미늄 재질로 이루어지는 부분에 산화알루미늄 박막이 형성되도록 상기 몸체를 아노다이징 처리하는 단계와, 상기 산화알루미늄 박막에 생성되는 포어를 실링시키는 처리 공정을 수행하되, 가열 수증기 분위기에서 상기 처리 공정을 수행하는 단계를 포함하도록 이루어질 수 있다.
알루미늄 재질로 이루어지는 몸체 표면에 산화알루미늄 박막이 형성되도록 상기 몸체를 아노다이징 처리하는 단계; 및상기 산화알루미늄 박막에 생성되는 포어를 실링시키는 실링 처리 공정을 수행하되, 상기 실링 처리 공정은 가열 수증기 분위기에서 수행하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 방법.
※ AI-Helper는 부적절한 답변을 할 수 있습니다.