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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/등록특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2023-0007896 (2023-01-19) | |
공개번호 | 10-2023-0015490 (2023-01-31) | |
등록번호 | 10-2507527-0000 (2023-03-03) | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020230007896 | |
발명자 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2023-01-19) | |
심사진행상태 | 등록결정(일반) | |
법적상태 | 등록 |
DC 전극과 히터 전극을 제외한 유전층 일부를 제거하고 그 위에 새로운 유전층을 증착시켜 재사용 가능하게 제조되는 정전 척, 정전 척의 제조 방법 및 정전 척을 포함하는 기판 처리 시스템을 제공한다. 상기 정전 척의 제조 방법은, 정전 척을 사용한 후, 정전 척의 제1 유전층 상에 형성되어 있는 댐을 제거하는 단계; 댐이 제거된 제1 유전층 상에 제2 유전층을 증착시키는 단계; 및 정전 척의 재사용이 가능하도록 제2 유전층을 패터닝시키는 단계를 포함한다.
하우징;상기 하우징의 내부 상측에 설치되며, 기판을 처리하기 위한 공정 가스를 상기 하우징의 내부로 유입시키고, 복수의 영역으로 분할되는 샤워 헤드;상기 하우징의 내부 하측에 설치되며, 상기 기판이 안착되는 정전 척, 상기 정전 척을 지지하는 베이스 및 상기 정전 척의 측면에 설치되는 링 어셈블리를 포함하는 지지 유닛;상기 기판의 처리를 위해 상기 정전 척에 전력을 인가하는 복수의 하부 전원;상기 복수의 하부 전원과 전기적으로 연결되며, 각각의 하부 전원으로부터 입력되는 상이한 크기의 주파수 전력들을 매칭시켜 상기 정전 척에 인가시
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