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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개특허 | |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 10-2022-7036357 (2022-10-19) | |
공개번호 | 10-2022-0156060 (2022-11-24) | |
우선권정보 | 유럽특허청(EPO)(EP) 20170478.0 (2020-04-20);유럽특허청(EPO)(EP) 21159062.5 (2021-02-24) | |
국제출원번호 | PCT/EP2021/059714 (2021-04-14) | |
국제공개번호 | WO 2021/213870 (2021-10-28) | |
번역문제출일자 | 2022-10-19 | |
DOI | http://doi.org/10.8080/1020227036357 | |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사청구여부 | 있음 (2022-10-19) | |
법적상태 | 공개 |
본 발명은 검사 도구에 관한 것이며, 검사 도구는 하전 입자 빔을 제공하기 위한 하전 입자 소스; 샘플을 홀딩하기 위한 샘플 홀더(sample holder); 및 샘플의 영역에 걸쳐 하전 입자 빔을 스캐닝 패턴으로 스캔하도록 구성된 스캐닝 시스템을 포함한다. 스캐닝 시스템은, 샘플의 영역에 걸쳐 하전 입자 빔을 스캔하기 위해 하전 입자 빔을 주기적으로 편향시키는 제1 진동 전자기장(oscillating electromagnetic field)을 제공하는 마이크로파 또는 RF 파 지지 구조체를 포함할 수 있다. 하전 입자 빔은 전자
검사 도구로서,하전 입자 빔을 제공하기 위한 하전 입자 소스;샘플을 홀딩하기 위한 샘플 홀더(sample holder); 및상기 샘플의 영역에 걸쳐 상기 하전 입자 빔을 스캐닝 패턴으로 스캔하도록 구성된 스캐닝 시스템을 포함하며,상기 스캐닝 시스템은, 상기 샘플의 영역에 걸쳐 상기 하전 입자 빔을 스캔하기 위해 상기 하전 입자 빔을 주기적으로 편향시키는 제1 진동 전자기장(oscillating electromagnetic field)을 제공하는 마이크로파 또는 RF 파(RF wave) 지지 구조체를 포함하는,검사 도구.
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