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[한국특허] 유기주석 옥사이드 하이드록사이드 패터닝 조성물, 전구체 및 패터닝
ORGANOTIN OXIDE HYDROXIDE PATTERNING COMPOSITIONS, PRECURSORS, AND PATTERNING 원문보기

IPC분류정보
국가/구분 한국(KR)/등록특허
국제특허분류(IPC8판)
  • G03F-007/16
  • G03F-007/004
  • G03F-007/20
출원번호 10-2023-7007653 (2023-03-03)
공개번호 10-2023-0035713 (2023-03-14)
등록번호 10-2708400-0000 (2024-09-13)
우선권정보 미국(US) 62/240,812 (2015-10-13);미국(US) 62/297,540 (2016-02-19)
국제출원번호 PCT/US2016/056637 (2016-10-12)
국제공개번호 WO 2017/066319 (2017-04-20)
번역문제출일자 2023-03-03
DOI http://doi.org/10.8080/1020237007653
발명자 / 주소
  • 메이어스, 스티븐 티. / 미국 오레건 ***** 코발리스 노스웨스트 우드랜드 드라이브 ****
  • 앤더슨, 제레미 티. / 미국 오레건 ***** 코발리스 노스웨스트 멘로 드라이브 ****
  • 카르디네우, 브라이언 제이. / 미국 오레건 ***** 코발리스 노스웨스트 우드랜드 드라이브 ****
  • 에드슨, 조셉 비. / 미국 오레건 ***** 코발리스 사우스이스트 베이쇼어 써클 ***
  • 지앙, 카이 / 미국 오레건 ***** 코발리스 사우스웨스트 버디 드라이브 ****
  • 케쉴러, 더글라스 에이. / 미국 오레건 ***** 코발리스 노스웨스트 로리 플레이스 ****
  • 텔레키, 앨런 제이. / 미국 오레건 ***** 올버니 노스웨스트 클러스터 오크 에비뉴 ****
출원인 / 주소
  • 인프리아 코포레이션 / 미국 오레건주 ***** 코볼리스 스위트 *** 노스이스트 서클 블러바드 ****
대리인 / 주소
  • 김애라
심사청구여부 있음 (2023-03-03)
심사진행상태 등록결정(일반)
법적상태 등록

초록 ▼

금속 옥사이드 하이드록사이드 화학을 기초로 한 고해상도 리소그래피(lithography) 패터닝 코팅 형성을 위한 유기 금속 전구체가 기재되어 있다. 상기 전구체 조성물은 일반적으로 온화한 조건하에 수증기 또는 다른 OH 공급원 조성물에 의해 쉽게 가수분해될 수 있는 리간드를 포함한다. 상기 유기 금속 전구체는 일반적으로 비교적 낮은 방사선 선량(radiation dose)에서 고해상도 패터닝에 효과적일 수 있고 EUV 패터닝에 특히 유용한 코팅을 제공할 수 있는, 주석과의 방사선 민감성 유기 리간드를 포함한다. 상기 전구체 조성물

대표청구항

방사선 패턴화가능한 유기 금속 코팅의 형성 방법으로서, 상기 방법은, 유기 리간드와 가수분해성 리간드를 갖는 주석 조성물을 증착하여 건조 두께 1 나노미터(nm) 내지 50 nm의 코팅을 형성하는 것을 포함하며, 상기 유기 리간드는 방사선 감수성 Sn-C 결합을 포함하고, 상기 주석 조성물은 화학식 RSnX3 의 화합물(여기서 R은 유기 리간드, X는 가수분해성 리간드를 나타냄)을 포함하는 것인 방법.

이 특허에 인용된 특허 (1)

  1. [국제] ORGANOMETALLIC SOLUTION BASED HIGH RESOLUTION PATTERNING COMPOSITIONS | MEYERS STEPHEN T, KESZLER DOUGLAS A, JIANG KAI, ANDERSEN JEREMY, GRENVILLE ANDREW,
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