[특허]유기금속 용액 기반의 고해상도 패터닝 조성물

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개특허	크게보기
국제특허분류(IPC8판)	G03F-007/004 G03F-007/038 G03F-007/039 G03F-007/09
출원번호	10-2023-7023097 (2023-07-07)
공개번호	10-2023-0107719 (2023-07-17)
우선권정보	미국(US) 13/973,098 (2013-08-22)
국제출원번호	PCT/US2014/048212 (2014-07-25)
국제공개번호	WO 2015/026482 (2015-02-26)
번역문제출일자	2023-07-07
DOI	http://doi.org/10.8080/1020237023097
발명자 / 주소	메이어스, 스티븐 티. / 미국 오레건 *** 코발리스 노스웨스트 우드랜드 드라이브 케쉴러, 더글라스 에이. / 미국 오레건 * 코발리스 노스웨스트 로리 플레이스 지앙, 카이 / 미국 오레건 * 코발리스 사우스웨스트 버디 드라이브 앤더슨, 제레미 티. / 미국 오레건 * 코발리스 노스웨스트 멘로 드라이브 그렌빌, 앤드류 / 미국 오레건 * 코발리스 사우스이스트 쇼라인 드라이브**
출원인 / 주소	인프리아 코포레이션 / 미국 오레건주 *** 코볼리스 스위트 * 노스이스트 서클 블러바드 ****
대리인 / 주소	김애라
심사청구여부	있음 (2023-07-07)
법적상태	공개

초록 ▼

유기금속 용액은 박막 코팅을 사용하는 높은 해상도 방사선 기반의 패터닝을 제공하는 것으로 밝혀졌다. 상기 패터닝은 선택된 패턴을 가지는 코팅된 표면의 조사 및 현상된 이미지를 형성하기 위한 현상제를 사용한 패턴의 현상을 포함할 수 있다. 상기 패터닝 가능한 코팅(patternable coating)은 유기 현상제 또는 수성 산 또는 염기 현상제에 의한 포지티브-톤 패터닝 또는 네가티브-톤 패터닝에 민감할 수 있다. 상기 방사선 민감성 코팅은 유기 리간드 및 금속 옥소/히드록소 네트워크를 포함할 수 있다. 전구체 용액은 유기 액체,

대표청구항

유기 용매와, 하나 이상의 주석 카르복실레이트 결합 및 주석에 Sn-C 결합으로 결합된 하나 이상의 하이드로카빌 리간드를 갖는 주석 화합물을 포함하는 전구체 용액으로서, 상기 유기 용매는 알코올, 에스테르 또는 이들의 조합을 포함하고, 상기 주석 화합물을 방사선 감수성 리간드를 가지며, 상기 용액의 주석 농도는 0.01M 내지 1.4M이며, 상기 주석 화합물은 EUV 조사에 노출시 끊어질 수 있는 Sn-C 결합을 갖는 것인 전구체 용액.

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A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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