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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1994-0035941 (1994-12-26) |
공개번호 | 20-1996-0025288 (1996-07-22) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019940035941 |
발명자 / 주소 | |
출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
[청구범위]1. 반도체 BPSG막 증착공정을 수행하는 공정챔버와 상기 공정챔버를 진공시키는 진공펌프사이의 라인에 장착되어 공정완료 후 상기 진공펌프에 흡입되는 파우더를 여과하기 위한 파우더제거용 파티클 트랩장치에 있어서, 상기 트랩은 그의 내부 일측에 공정진행중 흡입되는 파우더를 여과시킬 수 있도록 소정크기의 메쉬로 형성된 제1여과수단을 구비하며, 상기 제1여과수단과 소정간격을 구고 설치되되, 상기 제1여과수단보다 메쉬가 소정크기만큼 작게 형성되어1차 여과된 파우더미립자를 재차 여과할 수 있도록 제2여과수단을 구비한 트립인 것을 특
대표청구항이 없습니다.
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