[특허]웨이퍼 세정 장치

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[한국특허] 웨이퍼 세정 장치 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/공개실용신안
국제특허분류(IPC8판)	H01L-021/304
출원번호	20-1995-0014628 (1995-06-24)
공개번호	20-1997-0003198 (1997-01-24)
DOI	http://doi.org/10.8080/2019950014628
발명자 / 주소	김학묵 / 경기도이천군대월면사동리현대사원아파트*-**
출원인 / 주소	주식회사 하이닉스반도체 / 경기 이천시 부발읍 아미리 산**-
대리인 / 주소	신영무; 최승민 (SHIN, Young Moo) 서울 중구 순화동 -** 에이스타워 층; 서울 중구 순화동 -*** 에이스타워 *층
심사진행상태	취하(심사미청구)
법적상태	취하

초록

[청구범위]웨이퍼 세정장치에 있어서, 약액용기로 부터 공급되는 세정액을 공급하는 공급관과, 상기 공급관을 통해 공급되는 세정액을 수용하는 세정조에 펌프, 온도조절기 및 필터가 구비되고, 상기 세정조에 농도측정기 및 밸브가 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼세정장치.

대표청구항

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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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구성항목	기본정보 상세정보 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표IPC 관리번호, 국가코드, 자료구분, 상태, 출원번호, 출원일자, 공개번호, 공개일자, 공고번호, 공고일자, 등록번호, 등록일자, 발명명칭(한글), 발명명칭(영문), 출원인(한글), 출원인(영문), 출원인코드, 대표출원인, 출원인국적, 출원인주소, 발명자, 발명자E, 발명자코드, 발명자주소, 발명자 우편번호, 발명자국적, 대표IPC, IPC코드, 요약, 미국특허분류, 대리인주소, 대리인코드, 대리인(한글), 대리인(영문), 국제공개일자, 국제공개번호, 국제출원일자, 국제출원번호, 우선권, 우선권주장일, 우선권국가, 우선권출원번호, 원출원일자, 원출원번호, 지정국, Citing Patents, Cited Patents
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