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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1995-0038048 (1995-12-04) |
공개번호 | 20-1997-0046585 (1997-07-31) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019950038048 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
[청구범위] 1.장비(1)와 웽 스크러버(2)를 연결하는 벤트 라인(3)에 파우더 분쇄 수단을구비한 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 파우더 분쇄장치.[청구범위] 2.제1항에 있어서, 상기 파우더 분쇄수단은, 벤트라인(3)에 연결 설치되는 퍼지라인(4)과, 상기 퍼지라인(4)으로 공급되는 에어형 가스인 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 파우더 분쇄장치.[청구범위] 3.제2항에 있어서, 상기 에어형 가스는, 질소 가스인 것을 특징으로 하는 반도체 제조장비의 파우더 분쇄장치.
대표청구항이 없습니다.
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