[특허]반도체 제조용 확산설비의 배기장치

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[한국특허] 반도체 제조용 확산설비의 배기장치
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IPC분류정보
국가/구분	한국(KR)/등록실용신안
국제특허분류(IPC9판)	H01L-021/22
출원번호	20-1996-0007894 (1996-04-12)
공개번호	20-1997-0059820 (1997-11-10)
등록번호	20-0153146-0000 (1999-05-04)
DOI	http://doi.org/10.8080/2019960007894
발명자 / 주소	이기성 / 경기도 수원시 권선구 세류동 -번지
출원인 / 주소	삼성전자주식회사 / 경기도 수원시 영통구 매탄동 ***
대리인 / 주소	박만순; 신동준 (PARK, Man Soon) 서울 강남구 역삼동 *- 덕원빌딩 층; 서울서초구서초동**-서초제일빌딩***호(인벤티브국제특허법률사무소)
심사청구여부	있음 (1996-04-12)
심사진행상태	등록결정(일반)
법적상태	소멸

초록 ▼

확산설비의 배기장치 중 공정챔버(Chamber)와 배기라인(Exhaust Tube)을 주름관으로 연결시켜서 충격에 강성을 갖고 파티클(Particle)의 역류를 개선한 반도체 제조용 확산설비의 배기장치에 관한 것이다.본 고안은 공정챔버에서 발생되는 가스를 확산설비 외부로 배출시키는 배기라인이 구비된 반도체 제조용 확산설비의 배기장치에 있어서, 상기 공정챔버에 배기관이 연결되고, 상기 배기라인에는 주름관이 연장결합되어 상기 배기관의 단부와 상기 주름관의 단부를 포트로 결합하여 이루어진다.따라서 본 고안에 의하면, 반도체 제조용 확산설

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IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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