초록 ▼

본 고안은 웨이퍼를 본체의 챔버내에 보관하고 이 웨이퍼에 고온의 열을 가하여 웨이퍼에 소정의 가공공정을 진행하는 장치에서, 상기 웨이퍼를 저면에서 지지하고, 웨이퍼를 상,하로 동작시키는 웨이퍼리프트핀과; 상기 웨이퍼리프트핀이 상,하로 동작하도록 웨이퍼리프트핀의 외주면을 고정하여 지지하는 지지부재와; 상기 웨이퍼리프트핀의 저면으로 인출되는 연결도선에 연결 설치되어 웨이퍼의 온도를 검출하는 검출부와; 상기 온도검출부에서 검출된 온도를 비교하여 분석하는 비교분석부와; 상기 비교분석부에서 비교 분석된 온도의 다양한 데이터 값을 작업자가 알

본 고안은 웨이퍼를 본체의 챔버내에 보관하고 이 웨이퍼에 고온의 열을 가하여 웨이퍼에 소정의 가공공정을 진행하는 장치에서, 상기 웨이퍼를 저면에서 지지하고, 웨이퍼를 상,하로 동작시키는 웨이퍼리프트핀과; 상기 웨이퍼리프트핀이 상,하로 동작하도록 웨이퍼리프트핀의 외주면을 고정하여 지지하는 지지부재와; 상기 웨이퍼리프트핀의 저면으로 인출되는 연결도선에 연결 설치되어 웨이퍼의 온도를 검출하는 검출부와; 상기 온도검출부에서 검출된 온도를 비교하여 분석하는 비교분석부와; 상기 비교분석부에서 비교 분석된 온도의 다양한 데이터 값을 작업자가 알 수 있도록 표시하는 표시부로 구성된 웨이퍼 온도제어장치인 바, 웨이퍼의 온도 변화상태를 손쉽게 첵킹하도록 하고, 종래에 티씨웨이퍼를 사용하여 웨이퍼의 온도를 측정하는 불편함을 해소하여 작업성을 향상시키며, 측정값이 정확하도록 하는 장점을 지닌 매우 유용하고 효과적인 고안이다.

대표청구항 ▼

웨이퍼를 본체의 챔버내에 보관하고 이 웨이퍼에 고온의 열을 가하여 웨이퍼에 소정의 가공공정을 진행하는 장치에 있어서, 상기 웨이퍼를 저면에서 지지하고, 웨이퍼를 상,하로 동작시키는 웨이퍼리프트핀과;상기 웨이퍼리프트핀이 상,하로 동작하도록 웨이퍼리프트핀의 외주면을 고정하여 지지하는 지지부재와;상기 웨이퍼리프트핀의 저면으로 인출되는 연결도선에 연결 설치되어 웨이퍼의 온도를 검출하는 검출부와;상기 온도검출부에서 검출된 온도를 비교하여 분석하는 비교분석부와;상기 비교분석부에서 비교 분석된 온도의 다양한 데이터 값을 작업자가 알 수 있도록

웨이퍼를 본체의 챔버내에 보관하고 이 웨이퍼에 고온의 열을 가하여 웨이퍼에 소정의 가공공정을 진행하는 장치에 있어서, 상기 웨이퍼를 저면에서 지지하고, 웨이퍼를 상,하로 동작시키는 웨이퍼리프트핀과;상기 웨이퍼리프트핀이 상,하로 동작하도록 웨이퍼리프트핀의 외주면을 고정하여 지지하는 지지부재와;상기 웨이퍼리프트핀의 저면으로 인출되는 연결도선에 연결 설치되어 웨이퍼의 온도를 검출하는 검출부와;상기 온도검출부에서 검출된 온도를 비교하여 분석하는 비교분석부와;상기 비교분석부에서 비교 분석된 온도의 다양한 데이터 값을 작업자가 알 수 있도록 표시하는 표시부로 구성된 것을 특징으로 하는 웨이퍼 온도제어장치.