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NTIS 바로가기국가/구분 | 한국(KR)/공개실용신안 |
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국제특허분류(IPC8판) |
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출원번호 | 20-1998-0020835 (1998-10-29) |
공개번호 | 20-2000-0008955 (2000-05-25) |
DOI | http://doi.org/10.8080/2019980020835 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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심사진행상태 | 취하(심사미청구) |
법적상태 | 취하 |
본 고안은 웨이퍼를 본체의 챔버내에 보관하고 이 웨이퍼에 고온의 열을 가하여 웨이퍼에 소정의 가공공정을 진행하는 장치에서, 상기 웨이퍼를 저면에서 지지하고, 웨이퍼를 상,하로 동작시키는 웨이퍼리프트핀과; 상기 웨이퍼리프트핀이 상,하로 동작하도록 웨이퍼리프트핀의 외주면을 고정하여 지지하는 지지부재와; 상기 웨이퍼리프트핀의 저면으로 인출되는 연결도선에 연결 설치되어 웨이퍼의 온도를 검출하는 검출부와; 상기 온도검출부에서 검출된 온도를 비교하여 분석하는 비교분석부와; 상기 비교분석부에서 비교 분석된 온도의 다양한 데이터 값을 작업자가 알
웨이퍼를 본체의 챔버내에 보관하고 이 웨이퍼에 고온의 열을 가하여 웨이퍼에 소정의 가공공정을 진행하는 장치에 있어서, 상기 웨이퍼를 저면에서 지지하고, 웨이퍼를 상,하로 동작시키는 웨이퍼리프트핀과;상기 웨이퍼리프트핀이 상,하로 동작하도록 웨이퍼리프트핀의 외주면을 고정하여 지지하는 지지부재와;상기 웨이퍼리프트핀의 저면으로 인출되는 연결도선에 연결 설치되어 웨이퍼의 온도를 검출하는 검출부와;상기 온도검출부에서 검출된 온도를 비교하여 분석하는 비교분석부와;상기 비교분석부에서 비교 분석된 온도의 다양한 데이터 값을 작업자가 알 수 있도록
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