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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0802830 (2013-03-14) |
공개번호 | US-0193594 (2013-08-01) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 0 |
A gas flow bubbler system for delivering a precursor gas to a production chamber, the bubbler system comprising: a bubbler for containing precursor molecules in a liquid phase; a cyclone separator for removing aerosol particles from the precursor gas; and a tube through which precursor gas generated
1. A gas flow bubbler system for delivering a precursor gas to a production chamber, the bubbler system comprising: a bubbler for containing precursor molecules in a liquid phase;a cyclone separator for removing aerosol particles from the precursor gas; anda tube through which precursor gas generate
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