[특허]Rotating floating magnetron dark-space shield

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[미국특허] Rotating floating magnetron dark-space shield 원문보기

IPC분류정보
국가/구분	United States(US) Patent 등록
국제특허분류(IPC7판)	H01J-021/22 C23C-015/00
출원번호	US-0541399 (1995-10-10)
발명자 / 주소	Taylor Clifford L. (Nerstrand MN) Crowley Daniel T. (Owatonna MN)
출원인 / 주소	Viratec Thin Films, Inc. (Faribault MN 02)
인용정보	피인용 횟수 : 4 인용 특허 : 0

초록

A rotatable magnetron cathode having at least one supported end adapted for attachment to a spindle. At least one dark space shield is attached to the cathode at a supported end to rotate therewith, and is electrically floating relative to the cathode.

대표청구항 ▼

A magnetron cathode apparatus, comprising: a rotatable magnetron cathode having at least one supported end capable of being attached to a spindle; a dark space shield attached to said cathode to rotate therewith and surrounding said cathode at at least one said supported end; and means for attaching

이 특허를 인용한 특허 (4)

Schnappenberger, Frank; Multerer, Jürgen, Device for supporting a rotatable target and sputtering apparatus.
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Liu,Alan Barry; Schweitzer,Marc O.; Van Gogh,James Stephen; Rosenstein,Michael; Watia,Jennifer L.; Zhang,Xinyu; Tanaka,Yoichiro; Forster,John C.; Chen,Anthony, Method and apparatus for controlling darkspace gap in a chamber.
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Crowley, Daniel Theodore, Rotary cathode for magnetron sputtering apparatus.
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Stowell, Michael W., System and method for modulation of power and power related functions of PECVD discharge sources to achieve new film properties.
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특허정보
IPC	Description
A	생활필수품
A62	인명구조; 소방(사다리 E06C)
A62B	인명구조용의 기구, 장치 또는 방법(특히 의료용에 사용되는 밸브 A61M 39/00; 특히 물에서 쓰이는 인명구조 장치 또는 방법 B63C 9/00; 잠수장비 B63C 11/00; 특히 항공기에 쓰는 것, 예. 낙하산, 투출좌석 B64D; 특히 광산에서 쓰이는 구조장치 E21F 11/00)
A62B-1/08	.. 윈치 또는 풀리에 제동기구가 있는 것

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