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NTIS 바로가기국가/구분 | United States(US) Patent 등록 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0762451 (2014-03-11) |
등록번호 | US-9681497 (2017-06-13) |
국제출원번호 | PCT/US2014/023770 (2014-03-11) |
국제공개번호 | WO2014/164910 (2014-10-09) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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대리인 / 주소 |
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인용정보 | 피인용 횟수 : 0 인용 특허 : 14 |
An electrostatic chuck assembly including a dielectric layer with a top surface to support a workpiece. A cooling channel base disposed below the dielectric layer includes a plurality of fluid conduits disposed beneath the top surface. A chuck assembly further includes a plurality of resistive heate
1. A chuck assembly for supporting a workpiece during a manufacturing operation, the chuck assembly comprising: a top surface of a dielectric layer to support the workpiece;a plurality of resistive heater rods spatially distributed over an area of an RF powered cooling channel base disposed under th
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