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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | US-0045291 (2009-05-27) |
공개번호 | WO-9146322 (2009-12-03) |
우선권정보 | US 12/129,448 20080529 |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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An overlay error is determined using a diffraction based overlay target (202) by generating a number of narrow band illumination beams (108) that illuminate the overlay target (202) (152, 156). Each beam has a different range of wavelengths. Images (121) of the overlay 5 target (202) are produced fo
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