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NTIS 바로가기국가/구분 | WIPO(WO) A1 공개 |
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국제특허분류(IPC7판) |
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출원번호 | KR-0002434 (2014-03-24) |
공개번호 | WO-0157882 (2014-10-02) |
우선권정보 | KR-20130034050 (2013-03-29) |
발명자 / 주소 |
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출원인 / 주소 |
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Disclosed are a TSV measuring apparatus and a TSV measuring method for measuring a via hole such as a TSV. The TSV measuring apparatus, for measuring a TSV formed on an object being measured, comprises: a light source; a digital variable aperture, provided on a path of light irradiated from the ligh
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