초록 ▼

○ 초순수는 물의 용해성을 최대로 이용하기 위해 불순물을 극한수준으로 제거한 이론적인 순수에 가까운 물이다. 이들 초순수의 사용분야는 다양하며, 그 중 반도체 제조분야에서는 회로의 고집적화 및 패턴 치수의 미세화에 따라 최고 등급의 초순수가 필요하다.

○ 초순수 제조시스템에서는 배관, 탱크 벽면, 분리막과 같은 구성요소로부터 불순물이 용출되므로 적정 재료의 선택과 함께 2차 순수계 내에 루프형 배관을 설치하여 물이 정체되지 않도록 순환시키는 방법 등이 효율적이다. 초미세구조로의 침투성이 큰 초임계 유체기술이나 불

○ 초순수는 물의 용해성을 최대로 이용하기 위해 불순물을 극한수준으로 제거한 이론적인 순수에 가까운 물이다. 이들 초순수의 사용분야는 다양하며, 그 중 반도체 제조분야에서는 회로의 고집적화 및 패턴 치수의 미세화에 따라 최고 등급의 초순수가 필요하다.

○ 초순수 제조시스템에서는 배관, 탱크 벽면, 분리막과 같은 구성요소로부터 불순물이 용출되므로 적정 재료의 선택과 함께 2차 순수계 내에 루프형 배관을 설치하여 물이 정체되지 않도록 순환시키는 방법 등이 효율적이다. 초미세구조로의 침투성이 큰 초임계 유체기술이나 불순물을 고도 제거할 수 있는 이온교환기를 도입한 이온흡착막을 활용한 세정기술도 기존 습식공정에서의 기술적 어려움을 해결할 수 있다.

○ Shizuoka대학은 공기 대신에 응축효과가 큰 수증기와 물을 혼합 분사시키는 약액을 사용하지 않는 세정기술을 개발했다. 한편 향후의 반도체 디바이스의 고도화에 따라 초순수의 요구 수질기준에 H2O2가 포함될 가능성에 대비하여 Organo　Corporation은 H2O2 분해능을 가진 촉매담지 이온교환수지를 이용한 초순수 제조기술을 최근 개발했다.

○ 우리나라는 초임계 유체를 이용한 웨이퍼 세정기술, 세정액 내 용존 수소 가스가 웨이퍼 세정에 미치는 영향, 레이저 유기 충격파를 이용한 나노입자 제거, 이류체 노즐을 이용한 세정시스템 연구 등 기능수에 대한 기초연구와 건식세정 시스템에 대한 연구가 학계를 중심으로 진행 중이다. 한편 정부와 반도체 및 장비 업계도 향후 3년 내에 세정장비를 포함하는 반도체장비를 국산 기술로 상용화하는 사업을 추진 중이다.

○ 향후 초순수는 전자공업의 발전에 따라 요구품질은 더욱 엄격해질 것이며, 원자력발전 등의 첨단 분야와 함께 세제 없는 세차 등 생활환경에서도 그 역할이 증가함에 따라 사용량도 급증할 것이다. 이들 초순수의 효율적인 제조와 이용을 위해서는 각종 불순물에 대한 여과기술은 물론 순도유지 기술 및 시스템 최적화 기술의 개발이 시급하다.