초록

Ⅲ. 연구개발의 내용 및 범위
- 기능수 습식 세정(wet cleaning process) 시험
오존발생기와 오존용해기 세정조로 구성된다. 오존발생기능 외부 공급된 산소로써 오존 가스를 발생시키고, 오존 용해 장치는 공급된 오존을 기액 접촉을 통한 전달로서 실제 오존수(DI/O₃)를 생성한다.
- Wet cleaning process 방법
① 오존 기능수에 의한 세정수 내 물질 분해 및 제거 성능 시험
② 태양전지 웨이퍼 상의 stain 제거 세정 시험

Abstract ▼

We have studied on ozonate water cleaning mechanisms to applied in 156 mm silicon wafer manufacturing which is used in the solar cell fabrication. We also have developed examining technology for evaluating cleaning performance of the ozonate water cleaning system which will be a core process technol

We have studied on ozonate water cleaning mechanisms to applied in 156 mm silicon wafer manufacturing which is used in the solar cell fabrication. We also have developed examining technology for evaluating cleaning performance of the ozonate water cleaning system which will be a core process technology to get high performance and low price in solar cell wafer fabrications. Using this novel technology it is possible for the solar cell wafer to process with low cost, and also there will be improvement of environmental pollution

목차 Contents

• 표지 ... 1
• 제 출 문 ... 2
• 보고서 초록 ... 3
• 요 약 문 ... 4
• S U M M A R Y ... 5
• C O N T E N T S ... 5
• 목 차 ... 6
• 제 1 장. 연구개발 과제의 개요 ... 7
• 1 절. 연구개발의 목적 ... 7
• 2 절. 연구개발의 필요성 ... 7
• 3 절. 연구개발의 범위 ... 11
• 제 2 장. 국내외 기술개발 현황 ... 13
• 1 절. 국내외 기술 및 연구 동향 ... 13
• 2 절. 특허동향 ... 17
• 3절. 산업동향 ... 20
• 제 3 장. 연구개발 수행 내용 및 결과 ... 21
• 1 절. 이론적 접근방법 ... 21
• 2절. 실험적 접근방법 ... 22
• 3절. 실험 내용 ... 23
• 4절. 실험 결과 ... 24
• 제 4 장. 목표 달성도 및 관련 분야에의 기여도 ... 27
• 1 절. 기술 성과 ... 27
• 2 절. 사회 경제적 성과 및 기여도 ... 27
• 제 5 장. 연구개발 결과의 활용 계획 ... 28
• 1 절. 향후 연구개발 추진계획 ... 28
• 2 절. 향후 연구개발 활용계획 ... 28
• 제 6 장. 참고 문헌 ... 29