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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
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연구책임자 | 박태진 |
참여연구자 | 임태훈 , 고준호 , 윤영현 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1991-07 |
주관부처 | 과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국과학기술연구원 Korea Institute Of Science and Technology |
등록번호 | TRKO200200004037 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
키워드 | ECR.PECVD.전산모사.증착속도.이온농도분포.ECR.PECVD.Computer Simulation.Deposition rate. |
1. ECR CVD 공정의 전산모델 설정 및 전산모사
2. ECR CVD 공정의 주요변수에 의한 영향 분석
3. ECR CVD system의 설계 및 부품구매와 system 일부제작
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