초록

\2년간의 연구중 금번 1차년도 연구는 초청정 환경의 확립을 위한 각 part별 clean system의 개념설계를 목표로 SMIF system의 적용 tool, clean자동이송장치, ultra clean room내 정전기 제어기술의 개발에 관한 연구로서 연구의 범위는 다음과 같다.\ \\1. 관련기술자료의 취합\\ \\2. 국부청정실의 기류분포 및 청정시스템 개념설계\\ \\3. auto clean transfer system 개념설계\\ \\4. ultra clean room내 정전기 제어기술 개념설계\\

목차 Contents

• 제 1 장 서 론...12
• 제 1 절 연구개발의 목적...12
• 제 2 절 연구의 범위...13
• 제 2 장 향후 반도체 제조공정 및 동향...14
• 제 1 절 미세가공을 위한 주요한 요소 및 장래기술...15
• 제 2 절 clean room에 관한 대책...16
• 제 3 장 종래의 clean room system 및 문제점...19
• 제 1 절 clean room system의 분류...19
• 제 2 절 clean room system의 문제점...23
• 제 4 장 SMIF system의 적용연구...25
• 제 1 절 SMIF system의 개요...25
• 제 2 절 SMIF enclosure의 개념설계...35
• 제 3 절 향후과제...45
• 제 5 장 clean 자동이송장치 개발...47
• 제 1 절 자동이송장치의 개념정립...47
• 제 2 절 기본 설계...57
• 제 3 절 향후과제...58
• 제 6 장 ultra clean room내 정전기 제어기술 개발...59
• 제 1 절 정전기의 발생과 영향...59
• 제 2 절 clean room 내의 정전기 제어기술...65
• 제 3 절 고 찰...71
• 제 7 장 결 론...87
• 참고문헌...88