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NTIS 바로가기주관연구기관 | 한국지질자원연구원 Korea Institute of Geoscience and Mineral Resources |
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연구책임자 | 김동학 |
참여연구자 | 최상근 , 정헌생 , 손용운 , 김동진 , 김병곤 , 황연 , 정수복 |
발행국가 | 대한민국 |
언어 | 한국어 |
발행년월 | 1993-10 |
주관부처 | 과학기술부 |
과제관리전문기관 | 한국지질자원연구원 Korea Institute of Geoscience and Mineral Resources |
등록번호 | TRKO200200006689 |
DB 구축일자 | 2013-04-18 |
본 연구는 Plasma를 원료제조시 출발원료의 기화방법으로 사용하여 DC 플라즈마법에 의한 질화규소의 분말장치를 제작하고 이를 사용하여 질화규소제조의 기초실험을 수행하는데 그 목적이 있다.용량 80KW인 DC power supply를 사용하여 생성된 플라즈마 토치 Flame 에 원료가스를 접촉시키고 반응가스와의 기상반응법으로 질화규소를 제조하였다.플라즈마 발생용 가스는 토치의 수직방향에서 주입되며,플라즈마 점화되는 부위의 직하단부에 기화된 원료가 운송가스와 함께 주입된다.플라즈마 Flame의 하단부에 2개의 Slit를 장착하여 Re
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