초록 ▼

- 공구 구동 시스템의 개념 설계 : 초정밀 비구면 가공기에 용이하게 사용되어질 수 있는 2축 미세변위 기구와 제어 및 측정 시스템의 개념 설계- 2축 압전 공구 구동기용 Flexure의 설계 및 구조해석 : 개념 설계에 의해 결정된 2축 압전 공구 구동기용 Flexure의 수치해석을 통한 최적 설계 및 정.동적 거동특성 규명- 성능 실험용 시제품 제작 : 설계 되어진 2축 미세변위 제어 기구의 시제품 제작과 그의 성능 실험을 위한 실험 장치의 구성- 기초 성능 실험 : 2축 공구 구동 시스템의 축간 상호 영향을 고려한 정적 특성

- 공구 구동 시스템의 개념 설계 : 초정밀 비구면 가공기에 용이하게 사용되어질 수 있는 2축 미세변위 기구와 제어 및 측정 시스템의 개념 설계- 2축 압전 공구 구동기용 Flexure의 설계 및 구조해석 : 개념 설계에 의해 결정된 2축 압전 공구 구동기용 Flexure의 수치해석을 통한 최적 설계 및 정.동적 거동특성 규명- 성능 실험용 시제품 제작 : 설계 되어진 2축 미세변위 제어 기구의 시제품 제작과 그의 성능 실험을 위한 실험 장치의 구성- 기초 성능 실험 : 2축 공구 구동 시스템의 축간 상호 영향을 고려한 정적 특성 실험과 계단 입력에 의한 축별 응답 특성 실험

Abstract

- Conceptional design of the PZT tool servo mechanism- Design and structural analysis of the flexure for the 2 - D PZT tool servo mechanism- Fabrication of a prototype- Basic Experiments for performance evaluation

목차 Contents

• 표지 ...1
• 제출문 ...3
• 요약문 ...4
• 목차 ...10
• 제 1 장 연구의 개요...12
• 제 1 절 연구배경과 필요성...12
• 제 2 절 연구목표...13
• 제 3 절 연구내용 및 범위...14
• 제 2 장 압전 공구 구동 시스템의 기념 설계...15
• 제 1 절 구조 및 구동 원리...15
• 제 2 절 제어시스템의 구성...17
• 제 3 장 2축 압전 공구 구동기용 Flexure의 설계 및 구조해석...19
• 제 1 절 설계 변수 및 제한 조건...19
• 제 2 절 Flexure Hinge의 배치 및 부재 연결부 형상 설계...20
• 제 3 절 부재별 최적폭 설계...25
• 제 4 절 최적폭의 부재로 구성된 Flexure의 정적 해석...30
• 제 5 절 공구, 압전체 및 센서용 Fixure 장착 위치를 고려한 최종 Flexure의 정적 해석...35
• 제 6 절 Flexure의 모드 해석...47
• 제 7 절 압전체 및 센서용 Fixture 설계 및 구조해석...49
• 제 4 장 성능실험용 시제품 제작 및 기초성능 실험...53
• 제 1 절 성능 실험장치의 제작 및 구성...53
• 제 2 절 기초성능 실험 및 결과 고찰...57
• 제 5 장 결론 및 향후 연구 방향...63
• 제 6 장 참고문헌...64
• 부록...66
• 부록 A. 2축 압전 공구 구동 시스템의 설계도...66
• 부록 B. 2축 압전 공구 구동기용 Flexure의 ANSYS를 이용한 구조 해석 프로그램...72
• 부록 C. 압전체용 fIXTURE의 ANSYS를 이용한 구조 해석 프로그램...102